Tillverkning av Nanoheight kanaler införliva Surface Acoustic Wave Actuation via Litium Niobat för akustisk nanofluidik

Vi visar tillverkning av nanohöjd kanaler med integration av ytan akustisk våg aktiveringsanordningar på litium niobat för akustisk nanofluidik via liftoff fotolitografi, nano-djup reaktiv jonetsning, och rumstemperatur plasma ytaktiverad flerskiktsbindning av enkristalllitiumniobat, en process som är lika användbar för bindning av litiumniobat till oxider.