Ein Abonnement von JoVE ist erforderlich, um diesen Inhalt anzuzeigen. Melden Sie sich an oder beginnen Sie noch heute mit einer kostenlosen Testphase.

Methodenartikel

Kühlrate Dependent Ellipsometriemessungen die Dynamik des Thin Glassy Films zu ermitteln

8.1K Aufrufe

⸱

DOI:

10.3791/53499

⸱

26. Januar 2016

 , 

In diesem Artikel

Zusammenfassung

Hier stellen wir ein Protokoll für die Kühlrate abhängig Ellipsometrie Experimente, die die Glasübergangstemperatur (T g) bestimmen kann, die durchschnittliche Dynamik, Zerbrechlichkeit und die Ausdehnungskoeffizienten der unterkühlten Flüssigkeit und Glas für eine Vielzahl von glasartigen Materialien.

Zusammenfassung

Dieser Bericht soll vollständig zu beschreiben, die experimentelle Technik der Verwendung von Ellipsometrie für Kühlgeschwindigkeit abhängigen T g (CR-T g) Experimente. Diese Messungen sind einfache Hochdurchsatz-Experimente zur Charakterisierung, die die Glasübergangstemperatur zu bestimmen können (T g), mittlere Dynamik, Zerbrechlichkeit und die Ausdehnungskoeffizienten der unterkühlten Flüssigkeit und glasig Zustände für eine Vielzahl von glasartigen Materialien. Diese Technik ermöglicht diese Parameter in einem einzigen Experiment bestimmt werden, während andere Verfahren müssen eine Vielzahl von verschiedenen Techniken zu kombinieren, um alle diese Eigenschaften zu untersuchen. Messungen der Dynamik zu schließen, um T g sind besonders anspruchsvoll. Der Vorteil der Abkühlgeschwindigkeit abhängt Tg-Messungen gegenüber anderen Verfahren, die direkt untersuchen Volumen- und Oberflächen Relaxationsdynamik ist, dass sie relativ schnell und einfach Versuche, die nicht Fluorophore oder andere komplizierte ex nutzen liegenexperimentelle Techniken. Ferner tastet diese Technik die durchschnittliche Dynamik der technisch relevanten Dünnschichten in der Temperatur und Relaxationszeit (τ α) Rahmenbedingungen, die für die Glasübergangs (τ α> 100 s). Die Beschränkung auf mit Ellipsometrie für Kühlgeschwindigkeit abhängigen T g Experimenten ist, dass es nicht die Sonde kann Relaxationszeiten relevanten Messungen der Viskosität (τ α << 1 sec). Andere Kühlgeschwindigkeit abhängigen T g Messverfahren kann jedoch die CR-T g Methode schneller Relaxationszeiten zu verlängern. Darüber hinaus kann diese Technik für alle glasartigen Systems, solange die Integrität des Films während des gesamten Versuchs bleibt verwendet werden.

Einleitung

Die bahnbrechenden Arbeiten von Keddie Jones und Corey 1 zeigten, dass die Glasübergangstemperatur (Tg) von ultra-dünnen Polystyrol-Folien in Bezug auf die Volumenwert bei einer Dicke von weniger als 60 nm abnimmt. Seitdem wurden viele experimentelle Studien 2-11 die Hypothese, daß die beobachtete Verringerung der T g sind durch eine Schicht aus verbesserte Mobilität in der Nähe der freien Oberfläche dieser Filme verursacht unterstützt. Jedoch sind diese Versuche sind indirekte Maßnahmen einer einzigen Relaxationszeit und somit gibt es eine Diskussion 12- 18, die auf eine direkte Korrelation zwischen d....

Zugriff eingeschränkt. Bitte melden Sie sich an oder starten Sie eine Testversion, um diesen Inhalt anzuzeigen.

Protokoll

1. Film: Herstellung

  1. Man wiegt 0,04 g Polystyrol, und in einen 30 ml-Fläschchen.
  2. Wiegen Sie 2 g Toluol in die Flasche. Eine 2% ige Lösung von Polystyrol in Toluol ergibt ein Film von etwa 100 nm.
  3. Lassen Sie die Lösung sit O / N, um das Polystyrol vollständig zu lösen und lassen Sie die Lösungen zu begleichen.
  4. Legen Sie eine 1 cm x 1 cm Silizium (Si) Wafer auf einen Spin Coater.
  5. Drehen Sie das Wafer bei 8000 Upm für 45 sec. Während sie sich dreht, fallen ca. 1 ml Toluol auf dem drehenden Wafers.
    Hinweis: Alle Schritte, die Schleuderbeschichtung sind in einem Abzug durchgeführt.
  6. Auf dem nun ortsfesten ....

Zugriff eingeschränkt. Bitte melden Sie sich an oder starten Sie eine Testversion, um diesen Inhalt anzuzeigen.

Ergebnisse

Fitting Raw Ellipsometry Daten

Polystyrolfolien sind im Wellenlängenbereich des Ellipsometers (500-1,600 nm). Somit eine Cauchy-Modell ist ein gutes Modell für den Brechungsindex der Polystyrol-Folien beschreibt. 1A zeigt ein Beispiel Ψ (λ) und Δ (λ) für eine Dicke (274 nm) Film aus Polystyrol, und die daraus resultierende Anpassung an die Cauchy-Modell

Zugriff eingeschränkt. Bitte melden Sie sich an oder starten Sie eine Testversion, um diesen Inhalt anzuzeigen.

Diskussion

Cooling-Rate abhängig Tg Messungen mit hohem Durchsatz Experimente zur Charakterisierung, die die T g, die Ausdehnungskoeffizienten des Glases und der unterkühlten Flüssigkeit, die Temperaturabhängigkeit der durchschnittliche Dynamik und die Zerbrechlichkeit eines bestimmten glasartiges Material in einer bestimmen kann, einzigen Experiment. Darüber hinaus, im Gegensatz zu Fluoreszenz, Einbetten oder nanohole Relaxationsexperimente sind CR-T g Experimenten relativ schnell und einfach, wei.......

Zugriff eingeschränkt. Bitte melden Sie sich an oder starten Sie eine Testversion, um diesen Inhalt anzuzeigen.

Offenlegungen

Die Autoren haben keine Interessenkonflikte offenzulegen.

Danksagungen

Die Autoren bedanken sich bei James A. Forrest um Hilfe bei der Idee für diese Technik zu bestätigen. 26. Diese Arbeit wurde durch Mittel aus der University of Pennsylvania unterstützt und wurde teilweise durch die MRSEC Programm der National Science Foundation unter award unterstützt keine. DMR-11- 20901 an der Universität von Pennsylvania.

....

Zugriff eingeschränkt. Bitte melden Sie sich an oder starten Sie eine Testversion, um diesen Inhalt anzuzeigen.

Materialien

Liste der in diesem Artikel verwendeten Materialien
NameUnternehmenKatalognummerKommentare
ToluolSigma Aldrich179418-1LDies kann bei jedem Chemieunternehmen erworben werden.
AtaktischePolystyrol-Polymer-Quelle Inc.P-4092-SDiese kann bei jedem Chemieunternehmen erworben werden.
THMS 600 TemperaturstufeLinkamTHMS 600Es kann jede Temperaturstufe verwendet werden, die an ein Ellipsometer angepasst werden kann.
M2000V Spektroskopisches EllipsometerJ.A. WoollamM200VDieses Verfahren sollte für jedes spektroskopische Ellipsometer anwendbar sein.
Spin CoaterLaurell TechnologiesWS-650-23BDieses Verfahren ist mit jedem Spin Coater möglich
ProbenfläschchenFisher Scientific02-912-379Alle Probenfläschchen eignen sich für
SiliziumwaferVirginia Halbleiter325S1410694D

Referenzen

  1. Keddie, J. L., Jones, R. A. L., Cory, R. A. Size-Dependent depression of the glass transition temperature in polymer films. Europhys. Lett. 27 (1), 59-64 (1994).
  2. Forrest, J. A., Veress, K. D., Dutcher, J. R. Interface and chain confinement e....

Zugriff eingeschränkt. Bitte melden Sie sich an oder starten Sie eine Testversion, um diesen Inhalt anzuzeigen.

Nachdrucke und Genehmigungen

Weitere Artikel entdecken

Glasübergangstemperaturultradünne PolymerfilmeVariabeltemperaturstufeHochdurchsatzexperimentCauchy-Modellthermisches TempernEllipsometrie-SoftwareTemperaturprofil