Fabrikasjon og karakterisering av tykkelse modus Piezoelektriske enheter for forstøvning og acoustofluidics

Fabrikasjon av piezoelektrisk tykkelse modus transdusere via direkte strøm sputtering av plate elektroder på litium niobate er beskrevet. I tillegg oppnås pålitelig drift med en transduserholder og væskeforsyningssystem og karakterisering er demonstrert via impedansanalyse, laser doppler vibrometry, høyhastighets bildebehandling og dråpestørrelsesfordeling ved hjelp av laserspredning.