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Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024
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Summary

Le manuscrit décrit un protocole de pulvérisation magnétron par radiofréquence de films minces thermoélectriques Bi2Te3 et Sb2Te3 sur des substrats de verre, ce qui représente une méthode de dépôt fiable qui offre un large éventail d’applications avec un potentiel de développement ultérieur.