Summary

Fabricage van koolstof nanobuis High-Frequency Nano-elektronische biosensoren voor Sensing in High Ionic Strength Solutions

Published: July 22, 2013
doi:

Summary

We beschrijven het apparaat fabricage en meetprotocol voor koolstof nanobuis gebaseerde hoge frequentie biosensoren. De hoge frequentie sensing techniek vermindert de fundamentele ionische (Debye) screening effect en laat nanobuis biosensor in hoge ionische sterkte oplossingen waar conventionele elektronische biosensoren niet worden bediend. Onze technologie biedt een uniek platform voor point-of-care (POC) elektronische biosensoren die in fysiologisch relevante omstandigheden.

Abstract

Het unieke elektronische eigenschappen en een hoge oppervlakte-volume verhouding van single-walled carbon nanotubes (SWNT) en halfgeleider nanodraden (NW) 1-4 maken ze goede kandidaten voor hoge gevoeligheid biosensoren. Wanneer een geladen molecuul bindt aan dergelijke sensoroppervlak, het verandert de ladingsdichtheid 5 in de sensor, wat resulteert in veranderingen in de DC geleiding. Echter, in een ionische oplossing een geladen oppervlak trekt ook contra-ionen uit de oplossing, het vormen van een elektrische dubbellaag (EDL). Deze EDL effectief afschermt van de lading, en in fysiologisch relevante omstandigheden ~ 100 millimolair (mM), de karakteristieke lading screening lengte (Debye lengte) is minder dan een nanometer (nm). Zo is in hoge ionische sterkte oplossingen, charge gebaseerde (DC)-detectie is fundamenteel belemmerd 6-8.

We overwinnen lading screening effecten door het detecteren van moleculaire dipolen in plaats van kosten bij hoge frequentie, door het bedienen van koolstof NANOTube field effect transistors als hoge frequentie mixers 9-11. Bij hoge frequenties, kan de frequentieregelaar kracht niet meer overwinnen van de oplossing slepen en de ionen in oplossing niet voldoende tijd om de EDL te vormen. Verder frequentie mixing techniek ook toe bij de frequenties hoog genoeg ionische screening overwinnen, en de sensor signalen bij lagere frequenties 11-12 Nog detecteren. Ook de grote steilheid van SWNT transistoren betekent een interne winst voor het detectiesignaal, dat de behoefte aan externe signaalversterker ondervangt.

Hier beschrijven we het protocol tot (a) vervaardigen SWNT transistoren, (b) het functionaliseren biomoleculen nanobuis 13 (c) het ontwerpen en stempel een polydimethylsiloxaan (PDMS) microfluïdische kamer 14 op de inrichting en (d) uitvoeren van hoogfrequente sensing in verschillende ionische sterkte oplossingen 11.

Introduction

Wanneer een geladen molecuul bindt aan een SWNT of NW elektronische sensor, kan het ofwel doneren / accepteren elektronen of fungeren als een lokale elektrostatische poort. In beide gevallen kan de gebonden molecule de ladingsdichtheid te wijzigen of de SWNT NW kanaal, wat leidt tot een verandering in de gemeten DC geleiding van de sensor. Een grote verscheidenheid aan moleculen 15-20 met succes gedetecteerd door het bestuderen DC kenmerken van de nanosensoren tijdens dergelijke bindingsgebeurtenissen. Ook al last-detectie gebaseerd sensing mechanisme heeft vele voordelen, waaronder label-free detectie 21, Femto-mol gevoeligheid 22, en elektronische uitgelezen mogelijkheid 15, het is alleen effectief in lage ionische sterkte oplossingen. In hoge ionische sterkte oplossingen, wordt DC detectie belemmerd door ionische screening 6-8. Een geladen oppervlak trekt contra-ionen uit de oplossing die een elektrische dubbellaag (EDL) nabij het oppervlak vormt. De EDL effectief afschermt deze kosten. Als tHij ionsterkte van de oplossing toeneemt, de EDL smaller en screening verhoogt. Deze screening effect wordt gekenmerkt door de Debye screening lengte λ D,

Vergelijking 1
, Waarin ε de diëlektrische permittiviteit van de media, k B de constante van Boltzmann, T de temperatuur, q de elektronlading, en c is de ionsterkte van de elektrolytoplossing. Voor een typische 100 mM bufferoplossing, λ D is ongeveer 1 nm en de potentiële oppervlak volledig vertoond op een afstand van enkele nm. Dientengevolge meeste van nano-elektronische sensoren op basis van SWNT of NWs werken ofwel in droge toestand 20 of lage ionsterkte oplossingen 5,15,17,21-22 (c ~ 1 nM- 10 mM), anders moet het monster ontzouten stappen ondergaan 15,23. Point-of-care diagnostische apparaten moeten werken in fysiologisch relevante ionsterktes op locatie patiënt met beperkte steekproef verwerkingscapaciteit. Vandaar verzachtende ionische screening effect is van cruciaal belang voor de ontwikkeling en implementatie van POC nano-elektronische biosensoren.

We beperken de ionische screening effect door het bedienen van SWNT gebaseerde nano-elektronische sensor aan megahertz frequentiebereik. Het protocol hier verstrekte informatie de fabricage van een SWNT transistor gebaseerd nano-elektronische detectie-platform en de hoge frequentie mengen meting voor biomoleculaire detectie. De single-walled carbon nanotubes worden geteeld door chemisch opdampen op ondergronden met Fe-katalysatoren 24 patroon. Voor onze SWNT transistoren, we nemen een geschorste top-poort 25 geplaatst 500 nm boven de nanobuis, die helpt te verbeteren hoogfrequente sensor respons en maakt het ook mogelijk voor een compacte MICRo-fluidic kamer om het apparaat af te dichten. De SWNT transistoren worden uitgevoerd als hoogfrequent mixers 9-11 om de achtergrond ionische afschermingseffect overwinnen. Bij hoge frequenties, hoeft de mobiele ionen in oplossing niet voldoende tijd hebben om de EDL te vormen en de fluctuerende biomoleculaire dipolen kan nog steeds de poort van de SWNT een vermenging stroom, dat is onze detectie-signaal te genereren. De frequentiemenging ontstaat door de lineaire IV kenmerken van een nanobuis FET. Onze detectie techniek verschilt van de conventionele technieken van lading gebaseerde detectie en impedantie spectroscopie 26-27. Ten eerste, detecteren we biomoleculaire dipolen bij hoge frequentie in plaats van de daaraan verbonden kosten. Ten tweede, de hoge steilheid van SWNT transistor geeft een interne winst voor de detectie signaal. Dit ondervangt de noodzaak voor externe versterking als bij hoogfrequente impedantiemetingen. Onlangs hebben andere groepen ook aan de orde biomoleculaire detectie in hoge background concentraties 23,28. Echter, deze methoden zijn meer betrokken, die complexe fabricage of zorgvuldige chemische techniek van receptor moleculen. Onze hoge frequentie SWNT sensor is voorzien van een eenvoudiger ontwerp en maakt gebruik van de inherente frequentie mengen eigendom van een nanobuis transistor. Wij zijn in staat om de ionische screening gevolgen te verzachten, waardoor veelbelovende een nieuwe biosensoren platform voor real-time point-of-care-detectie, waar biosensoren direct functioneren in fysiologisch relevante conditie gewenst zijn.

Protocol

1. Katalysator Patterning voor SWNT Growth Begin met een silicium wafer met een lage druk chemical vapor deposition (CVD) gegroeid 500 nm Si 3 N 4/500 nm SiO2-film op de top. Spin laag een laag fotoresist (PR) bij 500 rpm gedurende 5 seconden en vervolgens 4000 rpm gedurende 40 sec. Bak de wafer bij 115 ° C gedurende 90 sec. Gebruik een fotomasker met rechthoekige pits katalysatoren (fig. 1) en de wafer bloot UV (365 nm) bestrali…

Representative Results

Een scanning elektronenmicroscoop beeld van SWNT transistor met een zwevende bovenste poort is getoond in figuur 7a. De afmetingen poort kritisch zijn voor schorsing 25. Het huidige ontwerp afmetingen zijn (lengte x breedte x dikte = 25 pm x 1 micrometer x 100 nm). De gate-elektrode bestaat uit 50 nm Cr/50 nm Au, een dikke chroomlaag voegt meer kracht om zwevende structuur. De zwevende structuur wordt bevestigd door de afwezigheid van lekstroom tussen top gate en drain (figuur 7b).</s…

Discussion

De groei van koolstof nanobuisjes niet alleen afhankelijk ovenvoorwaarden maar ook substraat hygiëne. De optimale gasstroom, temperatuur en druk voor groei om nauwkeurig gekalibreerde en eenmaal vastgesteld ze min of meer stabiel. Zelfs met deze voorwaarden is voldaan, we vonden dat de groei afhankelijk is van de gevormde katalysator gebied, hoeveelheid katalysator en substraat schoon. Vandaar dat we opgenomen meerdere katalysator pit maten om rekening te houden met de variabiliteit in de groei. Een een uur bij hoge te…

Divulgations

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

Wij danken prof. dr. Paul McEuen aan de Cornell University voor de vroege discussie. Het werk wordt ondersteund door de start-up fonds verschaffen door de Universiteit van Michigan en de National Science Foundation Scalable Nanomanufacturing Program (DMR-1120187). Dit werk gebruikt de Lurie Nanofabrication faciliteit aan de Universiteit van Michigan, een lid van het National Nanotechnology Infrastructure Network gefinancierd door de National Science Foundation.

Materials

      REAGENTS
      Reagents which were provided within Lurie Nanofabrication Facility (University of Michigan) are marked as LNF in the catalogue column. Chemicals which require protective equipment (gloves, safety goggles, face mask, apron) and/or fume hood are denoted with PPE in comments section.
Silicon wafers (P-type, <100>, 500-550 μm thick) Silicon Valley Microelectronics    
SPR 220 3.0 Dow (Rohm and Haas) Megaposit SPR PPE
AZ 300MIF AZ Electronic Material Corporation   PPE
Acetone J T Baker 9005-05 PPE
Isopropanol (IPA) J T Baker 9079-05  
Buffered Hydrofluoric Acid Transene   PPE
1-Pyrene Butanoic Acid, succinimidyl ester Molecular Probes P130 PPE
Biotin PEO Amine Thermo Scientific EZ- Link PEG2 Biotin, # 21346 PPE
Streptavidin Invitrogen S 888 PPE
Dimethylformamide MP Biomedicals 0219514791 PPE
Polydimethylsiloxane Elastomer Base and Curing Agent Dow Corning Sylgard 184 Elastomer Kit PPE
SU-8 2015 Microchem Y111064 PPE
SU-8 Developer Microchem Y020100 PPE
Silanizing agent Sigma Aldrich 452807 PPE
Hydrogen Purity Plus LNF  
Ethylene Purity Plus LNF  
Argon Purity Plus LNF  
Phosphate Buffer Saline System Sigma Aldrich PBS1  
      EQUIPMENT
      Equipment provided by Lurie Nanofabrication Facility (University of Michigan) is denoted as LNF in Catalogue column.
GCA 200 Autostepper GCA LNF  
Low Pressure Chemical Vapor Deposition Tool Tempress LNF  
e-beam Evaporator Enerjet LNF  
CNT growth Furnace First Nano Easy Tube 3000 (LNF)  
Photomasks Nanofilm LNF  
Petri dish (150mm)   LNF  
Desiccator Bel-Art F420100000  
Biopsy Punch Ted Pella 15071/78  
Scalpel Ted Pella 548  
Polyethylene Tubing PE-50 VWR 20903-414  
Syringe Pump New Era Pump Systems NE-1000  
Syringe Fisher Scientific BD Safety-Lok Syringes  
Syringe Needles Fisher Scientific 14-821-13A  
DAQ card National Instruments 779111-01  
GPIB connector National Instruments 778032-51  
Lock-in Amplifier Stanford Research Systems SR 830  
Frequency Generator HP Agilent 8648B, 9kHz -2GHz  
Bias Tee Picosecond 5575A-104  
Current Preamplifier DL Instruments, LLC DL 1211  
BNC cables Allied Electronics 665-xxxx  
SMA cables Sentro Tech Corp SCF65141  

References

  1. Dekker, C. Carbon nanotubes as molecular quantum wires. Phys. Today. 52, 22-28 (1999).
  2. McEuen, P. L., Fuhrer, M. S., Park, H. K. Single-walled carbon nanotube electronics. IEEE Transactions on Nanotechnology. 1, 78-85 (2002).
  3. Duan, X. F., Huang, Y., Cui, Y., Wang, J. F., Lieber, C. M. Indium phosphide nanowires as building blocks for nanoscale electronic and optoelectronic devices. Nature. 409, 66-69 (2001).
  4. Cui, Y., Zhong, Z. H., Wang, D. L., Wang, W. U., Lieber, C. M. High performance silicon nanowire field effect transistors. Nano Letters. 3, 149-152 (2003).
  5. Heller, I., Janssens, A. M., et al. Identifying the mechanism of biosensing with carbon nanotube transistors. Nano Letters. 8, 591-595 (2008).
  6. Stern, E., Wagner, R., et al. Importance of the debye screening length on nanowire field effect transistor sensors. Nano Letters. 7, 3405-3409 (2007).
  7. Zhang, G. J., Zhang, G., et al. DNA sensing by silicon nanowire: Charge layer distance dependence. Nano Letters. 8, 1066-1070 (2008).
  8. Sorgenfrei, S., Chiu, C. -. y., Johnston, M., Nuckolls, C., Shepard, K. L. Debye Screening in Single-Molecule Carbon Nanotube Field-Effect Sensors. Nano Letters. 11, 3739-3743 (2011).
  9. Appenzeller, J., Frank, D. J. Frequency dependent characterization of transport properties in carbon nanotube transistors. Applied Physics Letters. 84, 1771-1773 (2004).
  10. Rosenblatt, S., Lin, H., Sazonova, V., Tiwari, S., McEuen, P. L. Mixing at 50 GHz using a single-walled carbon nanotube transistor. Applied Physics Letters. 87, (2005).
  11. Kulkarni, G. S., Zhong, Z. H. Detection beyond the Debye Screening Length in a High-Frequency Nanoelectronic Biosensor. Nano Letters. 12, 719-723 (2012).
  12. Sazonova, V. . A Tunable Carbon Nanotube Resonator. , (2006).
  13. Chen, R. J., Zhang, Y. G., Wang, D. W., Dai, H. J. Noncovalent sidewall functionalization of single-walled carbon nanotubes for protein immobilization. Journal of the American Chemical Society. 123, 3838-3839 (2001).
  14. Duffy, D. C., McDonald, J. C., Schueller, O. J. A., Whitesides, G. M. Rapid prototyping of microfluidic systems in poly(dimethylsiloxane. Analytical Chemistry. 70, 4974-4984 (1998).
  15. Zheng, G. F., Patolsky, F., Cui, Y., Wang, W. U., Lieber, C. M. Multiplexed electrical detection of cancer markers with nanowire sensor arrays. Nature Biotechnology. 23, 1294-1301 (2005).
  16. Star, A., Han, T. R., Gabriel, J. C. P., Bradley, K., Gruner, G. Interaction of aromatic compounds with carbon nanotubes: Correlation to the Hammett parameter of the substituent and measured carbon nanotube FET response. Nano Letters. 3, 1421-1423 (2003).
  17. Besteman, K., Lee, J. O., Wiertz, F. G. M., Heering, H. A., Dekker, C. Enzyme-coated carbon nanotubes as single-molecule biosensors. Nano Letters. 3, 727-730 (2003).
  18. Snow, E. S., Perkins, F. K., Houser, E. J., Badescu, S. C., Reinecke, T. L. Chemical detection with a single-walled carbon nanotube capacitor. Science. 307, 1942-1945 (2005).
  19. Kong, J., Franklin, N. R., et al. Nanotube molecular wires as chemical sensors. Science. 287, 622-625 (2000).
  20. Star, A., Tu, E., et al. Label-free detection of DNA hybridization using carbon nanotube network field-effect transistors. Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. 103, 921-926 (2006).
  21. Patolsky, F., Zheng, G. F., Lieber, C. M. Nanowire-based biosensors. Analytical Chemistry. 78, 4260-4269 (2006).
  22. Stern, E., Klemic, J. F., et al. Label-free immunodetection with CMOS-compatible semiconducting nanowires. Nature. 445, 519-522 (2007).
  23. Krivitsky, V., Hsiung, L. -. C., et al. Nanowires Forest-Based On-Chip Biomolecular Filtering, Separation and Preconcentration Devices: Nanowires Do it All. Nano Letters. 12, 4748-4756 (2012).
  24. Kong, J., Soh, H. T., Cassell, A. M., Quate, C. F., Dai, H. J. Synthesis of individual single-walled carbon nanotubes on patterned silicon wafers. Nature. 395, 878-881 (1998).
  25. Liu, G., Velasco, J., Bao, W. Z., Lau, C. N. Fabrication of graphene p-n-p junctions with contactless top gates. Applied Physics Letters. 92, (2008).
  26. Katz, E., Willner, I. Probing biomolecular interactions at conductive and semiconductive surfaces by impedance spectroscopy: Routes to impedimetric immunosensors, DNA-Sensors, and enzyme biosensors. Electroanalysis. 15, 913-947 (2003).
  27. K’Owino, I. O., Sadik, O. A. Impedance spectroscopy: A powerful tool for rapid biomolecular screening and cell culture monitoring. Electroanalysis. 17, 2101-2113 (2005).
  28. Elnathan, R., Kwiat, M., et al. Biorecognition Layer Engineering: Overcoming Screening Limitations of Nanowire-Based FET Devices. Nano Letters. 12, 5245-5254 (2012).
check_url/fr/50438?article_type=t

Play Video

Citer Cet Article
Kulkarni, G. S., Zhong, Z. Fabrication of Carbon Nanotube High-Frequency Nanoelectronic Biosensor for Sensing in High Ionic Strength Solutions. J. Vis. Exp. (77), e50438, doi:10.3791/50438 (2013).

View Video