Vi beskriver anvendelsen af en carbondioxid-laser reflow teknik til at fremstille silica hulrumsresonatorer, herunder fritstående mikrosfærer og on-chip microtoroids. Den reflow metode fjerner overfladeuregelmæssigheder, så lange foton levetid i begge enheder. De resulterende enheder har ultra høj kvalitet faktorer, der muliggør ansøgninger fra telekommunikation til biodetection.