Engineering
Un abonnement à JoVE est nécessaire pour afficher ce contenu. Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.
Chapitres
résumé
Please note that all translations are automatically generated.
En metode til permanent limning af to siliciumskiver for at realisere et ensartet kabinet er beskrevet. Dette omfatter wafer forberedelse, rengøring, RT limning, og udglødning processer. De resulterende bundne wafere (celler) har ensartethed af kabinettet ~ 1%1,2. Den resulterende geometri giver mulighed for målinger af indelukkede væsker og gasser.