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Fabricación de Baja Temperatura de nanotubos de carbono Interconexiones verticales Compatible con la tecnología de semiconductores
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Ingénierie
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Journal JoVE Ingénierie
Fabrication of Low Temperature Carbon Nanotube Vertical Interconnects Compatible with Semiconductor Technology
DOI:

09:20 min

December 07, 2015

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Chapitres

  • 00:05Titre
  • 00:46Bottom Metal and Interlayer Dielectric Deposition
  • 03:23Catalyst Deposition and CNT Growth
  • 05:07Topside Metallization
  • 07:17Results: Characterization of Vertically-aligned Carbon Nanotubes
  • 08:41Conclusion

Summary

Traduction automatique

A method for the growth of low temperature vertically-aligned carbon nanotubes, and the subsequent fabrication of vertical interconnect electrical test structures using semiconductor fabrication is presented.

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