/
/
Lens-meno compatta digitale olografico microscopio per MEMS di ispezione e caratterizzazione
Un abonnement à JoVE est nécessaire pour voir ce contenu. Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.
Chapitres
- 00:05Titre
- 01:05Preparations
- 03:52Data Acquisition
- 05:38Data Analysis for Static Measurements
- 06:40Sample Preparation and Data Analysis for Dynamic Measurements
- 07:42Results: CDHM Compared to Atomic Force Microscopy and Other Results
- 09:17Conclusion
Vi presentiamo una riflessione compatto sistema olografico digitale (CDHM) per l'ispezione e la caratterizzazione di dispositivi MEMS. Lo dimostra una lente-less con un'onda d'ingresso divergente fornendo naturale ingrandimento geometrico. Entrambi gli studi statici e dinamici sono presentati.
Tags
Compact Digital Holographic MicroscopeMEMS InspectionMEMS CharacterizationFull-field Optical MeasurementNon-contactReal-timeHigh-resolution3D MappingLens-lessCompactWafer InspectionMicro-opticsDiffractive OpticsBioimagingSilicon WaferGold Electrodes3D View SoftwareDMx 41BU02 CameraY800 Video FormatReflection Or Transmission Mode633 Nm Wavelength4.65 μm Pixel Size
