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Lens-meno compatta digitale olografico microscopio per MEMS di ispezione e caratterizzazione
 
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Lens-meno compatta digitale olografico microscopio per MEMS di ispezione e caratterizzazione

Article DOI: 10.3791/53630-v • 10:28 min • July 5th, 2016
July 5th, 2016 •
1, 1, 1, 2, 1,2
1School of Mechanical and Aerospace Engineering, Center of Laser and Optical Engineering, Nanyang Technological University, 2d'Optron Pte Ltd

Chapitres

résumé
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Vi presentiamo una riflessione compatto sistema olografico digitale (CDHM) per l'ispezione e la caratterizzazione di dispositivi MEMS. Lo dimostra una lente-less con un'onda d'ingresso divergente fornendo naturale ingrandimento geometrico. Entrambi gli studi statici e dinamici sono presentati.

Tags

Ingegneria l'olografia digitale sistema di imaging misura di fase quantitativa la microscopia test non distruttivi MEMS
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