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Fabricação e operação de Acoustofluidic dispositivos que suportam a granel ondas acústicas pe para Sheathless Focando de Partículas
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Fabrication and Operation of Acoustofluidic Devices Supporting Bulk Acoustic Standing Waves for Sheathless Focusing of Particles

Fabricação e operação de Acoustofluidic dispositivos que suportam a granel ondas acústicas pe para Sheathless Focando de Partículas

DOI:
10.3791/53861-v

•

10:14 min

•

March 06, 2016

•

, , , ,
1NSF Research Triangle Materials Research Science and Engineering Center,Duke University, 2Department of Biomedical Engineering,Duke University, 3Department of Mechanical Engineering and Materials Science,Duke University

Chapitres

  • 00:05Titre
  • 00:57Photolithography
  • 02:13Deep Reactive Ion Etching
  • 02:55Piranha Cleaning
  • 03:46Anodic Bonding
  • 05:41Finalizing the Acoustofluidic Device
  • 06:44Operating the Acoustofluidic Device
  • 08:01Results: Acoustofluidic Devices Support Bulk Acoustic Standing Waves
  • 09:03Conclusion

Summary

Traduction automatique

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dispositivos Acoustofluidic usar ondas ultra-sônicas no prazo de canais microfluídicos para manipular, concentrar e isolar micro suspenso e entidades nanoscópicas. Este protocolo descreve a fabricação e operação de um tal dispositivo de suporte de ondas estacionárias acústicas granel para concentrar partículas em uma linha de corrente central, sem a ajuda de fluidos de bainha.

Tags

Keywords: Acoustofluidic DevicesBulk Acoustic Standing WavesSheathless Particle FocusingMicrofabricationPhotolithographyDeep Reactive Ion EtchingSilicon Wafer Processing

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