Journal
/
Chimie
/
Epitaxiell tillväxt av Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition
Journal JoVE
Chimie
Un abonnement à JoVE est nécessaire pour voir ce contenu.  Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.
Journal JoVE Chimie
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Epitaxiell tillväxt av Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Chapitres

  • 00:05Titre
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

Traduction automatique

Traduction automatique

Detta arbete beskrivs de förfaranden för tillväxt och karakterisering av kristallint SrTiOa 3 direkt på germanium substrat genom atomlager nedfall. Förfarandet illustrerar förmågan hos en allt-kemisk tillväxt metod för att integrera oxider monolitiskt på halvledare för metalloxidhalvledaranordningar.

Tags

Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

AJOUTER À LA PLAYLIST

Usage Statistics

Vidéos Connexes

Atomically definierade mallar för epitaxiell tillväxt av Complex Oxide Thin Films

Syntes och reaktionskemi av nanostorlek Mono Titanate

Skikt för skikt syntes och överföring av fristående Conjugated mikroporös polymer Nanomembranes

Förbättrad hetero Kvalitet i Cu<sub> 2</sub> O-baserade solceller genom optimering av Atmosfärstryck Spatial Atomic skikt avsatt<br /> Zn<sub> 1-x</sub> Mg<sub> x</sub> O

Framställning av Makroporösa epitaxiella kvarts filmer Silicon av Chemical Solution Deposition

Inverkan av Hybrid perovskit tillverkningsmetoder på filmbildning, elektronstruktur och solceller Prestanda

Reaktiva förångningsdeposition av konjugerad Polymer filmer på godtyckliga substrat

Nedfall av porösa absorbenter på tyg stöder

Solvothermal syntes av MIL-96 och UiO-66-NH2 på atomlager deponeras metalloxid beläggningar på Fiber mattor

Syntesen av substrat-bundna Au nanotrådar Via en aktiv yta tillväxt mekanism

Read Article