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テラヘルツメタマテリアルにおける変位電流仲介共鳴のためのナノピラーベースのスプリットリング共振器の作製

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Fabrication of Nanopillar-Based Split Ring Resonators for Displacement Current Mediated Resonances in Terahertz Metamaterials

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テラヘルツメタマテリアルにおける変位電流仲介共鳴のためのナノピラーベースのスプリットリング共振器の作製

DOI:

10.3791/55289-v

•

10:28 min

•

March 23, 2017

•

Chao Liu, Joseph Schauff, Seokhyeong Lee, Jeong-Hyun Cho

¹Department of Electrical and Computer Engineering,University of Minnesota

Chapitres

00:00Titre
03:36Au Electroplating and ALD Al₂O₃
06:27Pattern C-shape SRRs
07:51Results: Au Nanopillar-based SRRs with 10 nm Al₂O₃ Gaps
09:40Conclusion

Summary

Traduction automatique

設計および新規ナノピラーベースのスプリットリング共振器（SRR）の製造のためのプロトコルが提供されます。

Tags

Nanopillar Split Ring Resonator Terahertz Metamaterials Displacement Current Gold Electroplating Atomic Layer Deposition High Quality Factor Frequency Shift Sensors Frequency-agile Devices Microfabrication High Aspect Ratio Nanostructures

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