Waiting
Traitement de la connexion…

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

Un abonnement à JoVE est nécessaire pour afficher ce contenu. Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.

Fremstilling av 3D-karbon mikroelektromekaniske systemer (C-MEMS)
 
Click here for the English version

Fremstilling av 3D-karbon mikroelektromekaniske systemer (C-MEMS)

Article DOI: 10.3791/55649-v 08:01 min June 17th, 2017
June 17th, 2017

Chapitres

résumé

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Lange og hule glassagtige karbonmikrofiber ble fremstilt basert på pyrolysen av et naturlig produkt, menneskehår. De to fabrikasjonstrinnene av karbonmikroelektromekaniske og karbonnanoelektromekaniske systemer, eller C-MEMS og C-NEMS, er: (i) fotolitografi av en karbonrik polymerprekursor og (ii) pyrolyse av den mønstrede polymerprecursoren.

Tags

Engineering Carbon-MEMS / NEMS glassaktig karbon fabrikasjon litografi pyrolyse SU8 fotoresist menneskehår.
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter