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Fabricación del Sensor de imagen Flexible basado en Lateral NIPIN fototransistores
Journal JoVE
Ingénierie
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Journal JoVE Ingénierie
Fabrication of Flexible Image Sensor Based on Lateral NIPIN Phototransistors
DOI:

09:59 min

June 23, 2018

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Chapitres

  • 00:05Titre
  • 00:26Si Doping and Isolation
  • 02:12Sacrificial Oxide Layer Deposition
  • 02:59Deposition of the First Layer of Polyimide and Performing the First Metallization
  • 04:43Deposition of the Second Layer of Polyimide and Performing the Second Metallization
  • 05:12Encapsulating the Sample with Polyimide and Opening via Holes and Mesh Structure
  • 05:56Etching the Sacrificial Layer and Transferring the Sample to a Flexible Substrate
  • 07:39Results: Current-Voltage Characteristics for the Phototransistor Array in the Curved State
  • 08:45Conclusion

Summary

Traduction automatique

Se presenta un detallado método para fabricar un deformable lateral NIPIN fototransistor arreglo de discos para sensores de imagen curvada. La matriz de fototransistor con una forma de malla abierta, que está compuesto por islas de silicio fino y elásticos interconectores metálicos, proporciona flexibilidad y elasticidad. El analizador de parámetro caracteriza la propiedad eléctrica del fototransistor fabricado.

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