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Fabricação de nanoestruturas magnéticas nas membranas de nitreto de silício para estudos de vórtice magnético utilizando técnicas de microscopia de transmissão
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Fabrication of Magnetic Nanostructures on Silicon Nitride Membranes for Magnetic Vortex Studies Using Transmission Microscopy Techniques

Fabricação de nanoestruturas magnéticas nas membranas de nitreto de silício para estudos de vórtice magnético utilizando técnicas de microscopia de transmissão

DOI:
10.3791/57817-v

•

06:27 min

•

July 02, 2018

•

, ,
1CEITEC BUT,Brno University of Technology

Chapitres

  • 00:04Titre
  • 00:40Substrate Preparation, Spin Coating, and Electron-beam Lithography
  • 01:52Chemical Development and Electron Beam Evaporation
  • 03:08Lift-off
  • 03:36LTEM Imaging
  • 04:41Results: Transmission Electron Microscopy of Magnetic Nanostructures on Silicon Nitride Membranes
  • 05:45Conclusion

Summary

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Um protocolo para a fabricação de magnético micro e nanoestruturas com configurações de rotação formando vórtices magnéticos apropriados para microscopia eletrônica de transmissão (TEM) e estudos de microscopia (MTXM) de raio-x de transmissão magnética é apresentado.

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Keywords: Magnetic NanostructuresSilicon Nitride MembranesTransmission MicroscopyElectron Beam LithographyElectron Beam EvaporationPermalloy DepositionLift-off Process

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