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Fabricación de nanoestructuras magnéticas en membranas de nitruro de silicio para estudios de vórtice magnético usando técnicas de microscopía de transmisión
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Fabrication of Magnetic Nanostructures on Silicon Nitride Membranes for Magnetic Vortex Studies Using Transmission Microscopy Techniques
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Fabricación de nanoestructuras magnéticas en membranas de nitruro de silicio para estudios de vórtice magnético usando técnicas de microscopía de transmisión

DOI:
10.3791/57817-v

•

06:27 min

•

July 02, 2018

•

, ,
1CEITEC BUT,Brno University of Technology

Chapitres

  • 00:04Titre
  • 00:40Substrate Preparation, Spin Coating, and Electron-beam Lithography
  • 01:52Chemical Development and Electron Beam Evaporation
  • 03:08Lift-off
  • 03:36LTEM Imaging
  • 04:41Results: Transmission Electron Microscopy of Magnetic Nanostructures on Silicon Nitride Membranes
  • 05:45Conclusion

Summary

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Se presenta un protocolo para la fabricación de micro y nanoestructuras con configuraciones de vuelta formando vórtices magnéticos adecuados para microscopía electrónica de transmisión (TEM) y los estudios de microscopia (MTXM) de rayos x de transmisión magnética magnético.

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Keywords: Magnetic NanostructuresSilicon Nitride MembranesTransmission MicroscopyElectron Beam LithographyElectron Beam EvaporationPermalloy DepositionLift-off Process

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