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晶圆级试验站上SiN集成光学相控阵列的特性

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Ingénierie

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Characterization of SiN Integrated Optical Phased Arrays on a Wafer-Scale Test Station

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晶圆级试验站上SiN集成光学相控阵列的特性

DOI:

10.3791/60269-v

•

05:57 min

•

April 01, 2020

•

Nicola A. Tyler, Sylvain Guerber, Daivid Fowler, Stephane Malhouitre, Stephanie Garcia, Philippe Grosse, Bertrand Szelag

¹University Grenoble Alpes and CEA, LETI, Minatec Campus

Chapitres

00:05Introduction
00:36Optical Coupling: Fiber Alignment
01:25Optical Coupling: Optical Phase Array (OPA) Output Imaging
02:14Beam Optimization and Steering
04:05Beam Divergence Measurement Imaging
04:30Results: Representative Silicon Nitride (SiN) Integrated OPA Characterization
05:20Conclusion

Summary

Traduction automatique

在这里，我们描述了包含光学相控阵列的SiN集成光子电路的运行情况。这些电路用于在近红外发射低发散激光束，并引导它们以两维。

Tags

Keywords: SiN Integrated Optical Phased Arrays Wafer-scale Characterization Automated Testing Beam-steering Circuits Prober Station Grating Coupler Far-field Imaging Phase Control Beam Steering Ring Resonators

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