Waiting
Traitement de la connexion…

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Fremstilling af nanohøjdekanaler med Surface…
JoVE Journal
Engineering

Un abonnement à JoVE est nécessaire pour afficher ce contenu. Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.

JoVE Journal Engineering
Fremstilling af nanohøjdekanaler med Surface Acoustic Wave-aktivering via lithiumniobat til akustisk nanofluidics
 
Click here for the English version

Fremstilling af nanohøjdekanaler med Surface Acoustic Wave-aktivering via lithiumniobat til akustisk nanofluidics

Article DOI: 10.3791/60648-v • 07:23 min • February 5th, 2020
February 5th, 2020 •
1, 1
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine, University of California San Diego

Chapitres

résumé
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Vi demonstrerer fabrikation af nanohøjdekanaler med integration af akustiske bølgeaktiveringsanordninger på overfladen, når lithiumniobate for akustisk nanofluidics via liftoff fotolitografi, nanodybdereaktiv ionætsning og plasma ved stuetemperatur overfladeaktiveret flerlagsbinding af enkeltkrystallithiumniobat, en proces, der ligeledes er nyttig til limning af lithiumniobat til oxider.

Tags

Engineering acoustofluidics nanofluidics nanofabrikation akustiske overfladebølger stuetemperaturbinding lithiumniobat plasmaaktiveret binding
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter