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2차 이온 질량분석법을 사용한 분리된 불순물의 3D 깊이 프로파일 재구성
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Chimie
This content is Free Access.
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Chimie
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry
Please note that all translations are automatically generated.
Click here for the English version.
2차 이온 질량분석법을 사용한 분리된 불순물의 3D 깊이 프로파일 재구성
DOI:
10.3791/61065-v
•
07:10 min
•
April 29, 2020
•
Paweł Piotr Michałowski
,
Sebastian Zlotnik
,
Iwona Jóźwik
,
Adrianna Chamryga
,
Mariusz Rudziński
1
Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology
Chapitres
00:00
Introduction
00:57
Defect Selective Etching
02:09
Scanning Electron Microscopy
02:50
Secondary Ion Mass Spectrometry
05:34
Results: Oxygen Counts in a Cuboid
06:29
Conclusion
Summary
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Türkçe (Turkish)
Traduction automatique
제시된 방법은 2차 이온 질량 분석법과 관련된 측정 아티팩트를 식별 및 해결하고 고체 물질에서 불순물/도펀트의 사실적인 3D 분포를 얻는 방법을 설명합니다.
Tags
3D Depth Profile
Segregated Impurities
Secondary Ion Mass Spectrometry
Semiconductor Technology
Structural Defects
Eutectic Mixture
Defect-selective Etching
Gallium Nitride
Scanning Electron Microscopy
SIMS Calibration
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