Journal
/
Chimie
/
3D-dybdeprofilrekonstruksjon av segregerte urenheter ved bruk av sekundær ionmassespektrometri
Journal JoVE
Chimie
This content is Free Access.
Journal JoVE Chimie
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry

3D-dybdeprofilrekonstruksjon av segregerte urenheter ved bruk av sekundær ionmassespektrometri

DOI:
10.3791/61065-v

•

07:10 min

•

April 29, 2020

•

, , , ,
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

Chapitres

  • 00:00Introduction
  • 00:57Defect Selective Etching
  • 02:09Scanning Electron Microscopy
  • 02:50Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 05:34Results: Oxygen Counts in a Cuboid
  • 06:29Conclusion

Summary

Traduction automatique

Traduction automatique

Den presenterte metoden beskriver hvordan man identifiserer og løser måleartefakter relatert til sekundærionmassespektrometri samt oppnå realistiske 3D-fordelinger av urenheter/dopanter i faststoffmaterialer.

Tags

3D Depth ProfileSegregated ImpuritiesSecondary Ion Mass SpectrometrySemiconductor TechnologyStructural DefectsEutectic MixtureDefect-selective EtchingGallium NitrideScanning Electron MicroscopySIMS Calibration

Article

Embed

AJOUTER À LA PLAYLIST

Usage Statistics

Vidéos Connexes

Analysere Protein Dynamics Bruke Hydrogen Exchange-massespektrometri

Analysere foto-oksidasjon av 2-propanol i inneluft nivå konsentrasjoner bruker feltet asymmetrisk Ion mobilitet massespektrometri

HS-MRM analysen for kvantifisering av verten celle proteiner i Protein Biopharmaceuticals av flytende kromatografi Ion mobilitet QTOF massespektrometri

Sanntid pusten analyse ved hjelp av sekundære Nanoelectrospray Ionization koblet til høy oppløsning massespektrometri

Syntese og massespektrometri analyse av Oligo-peptoids

En effektiv utvalg forberedelse metode for å forbedre karbohydrater Ion signaler i Matrix-assistert Laser desorpsjon/ionisering massespektrometri

Store ovenfra og ned Proteomikk bruker kapillær sone geleelektroforese Tandem massespektrometri

Høy gjennomstrømming og omfattende narkotika overvåkning bruker Multisegment injeksjon-kapillære geleelektroforese massespektrometri

Imaging korrosjon på metal-Paint Interface bruke time-of-Flight sekundær ion Mass massespektrometri

Ion Mobility-Mass massespektrometri teknikker for fastsettelse av struktur og mekanismer for metal ion Recognition og Redox aktivitet av metall bindende Oligopeptides

Read Article