Journal
/
Chimie
/
3D-djupprofilrekonstruktion av segregerade föroreningar med hjälp av sekundärjonmasspektrometri
Journal JoVE
Chimie
This content is Free Access.
Journal JoVE Chimie
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

3D-djupprofilrekonstruktion av segregerade föroreningar med hjälp av sekundärjonmasspektrometri

DOI:
10.3791/61065-v

•

07:10 min

•

April 29, 2020

•

, , , ,
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

Chapitres

  • 00:00Introduction
  • 00:57Defect Selective Etching
  • 02:09Scanning Electron Microscopy
  • 02:50Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 05:34Results: Oxygen Counts in a Cuboid
  • 06:29Conclusion

Summary

Traduction automatique

Traduction automatique

Den presenterade metoden beskriver hur man identifierar och löser mätartefakter relaterade till sekundärjonmasspektrometri samt erhåller realistiska 3D-fördelningar av föroreningar/dopningsmedel i fasta material.

Tags

3D Depth ProfileSegregated ImpuritiesSecondary Ion Mass SpectrometrySemiconductor TechnologyStructural DefectsEutectic MixtureDefect-selective EtchingGallium NitrideScanning Electron MicroscopySIMS Calibration

Article

Embed

AJOUTER À LA PLAYLIST

Usage Statistics

Vidéos Connexes

Analysera Protein Dynamics Använda Hydrogen Exchange masspektrometri

Analysera Photo-oxidation av 2-propanol i inomhusluft nivå koncentrationer använder fältet asymmetrisk Ion rörlighet spektrometri

En HS-MRM analysmetod för kvantifiering av värdcellen proteiner i Protein Biopharmaceuticals genom vätskekromatografi Ion rörlighet QTOF masspektrometri

Realtid andedräkt analys med hjälp av sekundära Nanoelectrospray jonisering kopplat till hög upplösning masspektrometri

Syntes och masspektrometri analys av Oligo-peptoids

En effektiv prov förberedelse metod att förbättra kolhydrat Ion signaler i Matrix-assisted Laser Desorption/jonisering masspektrometri

Storskaliga Top-down proteomik med kapillära zonen elektrofores Tandem Mass Spectrometry

Hög genomströmning och omfattande drog övervakning med Multisegment injektion-kapillär elektrofores masspektrometri

Imaging korrosion vid metal-Paint Interface använda Time-of-Flight sekundär Jon masspektrometri

Jon mobilitet-masspektrometri tekniker för att bestämma strukturen och mekanismerna för metall Jon igenkänning och redox aktivitet av metall bindning Oligopeptides

Read Article