يصف هذا البروتوكول أدوات للتعامل مع الأقطاب الكهربائية الدقيقة داخل القشرة المستوية من السيليكون أثناء معالجات تعديل السطح عن طريق ترسب الغاز وتفاعلات المحلول المائي. يتم شرح تجميع المكونات المستخدمة للتعامل مع الأجهزة طوال الإجراء بالتفصيل.