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Ingénierie
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Deposition of Bi
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Te
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and Sb
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Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering
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Изготовление термоэлектрических тонких пленок Bi
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и Sb
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с использованием метода радиочастотного магнетронного распыления
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Ingénierie
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Ingénierie
Fabrication of Bi
2
Te
3
and Sb
2
Te
3
Thermoelectric Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique
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Изготовление термоэлектрических тонких пленок Bi
2
Te
3
и Sb
2
Te
3
с использованием метода радиочастотного магнетронного распыления
Deposition of Bi
2
Te
3
and Sb
2
Te
3
Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering
DOI:
10.3791/66248-v
•
00:45 min
•
May 17, 2024
•
Nurfarhana Ahmad Musri
,
Yoganash Putthisigamany
,
Puvaneswaran Chelvanathan
,
Norasikin Ahmad Ludin
,
Nadhrah Md Yatim
,
Ubaidah Syafiq
1
Solar Energy Research Institute (SERI)
,
Universiti Kebangsaan Malaysia
,
2
Faculty of Science and Technology
,
Universiti Sains Islam Malaysia
Tags
Bi2Te3
Sb2Te3
Thermoelectric Thin Films
Radio Frequency Magnetron Sputtering
Thin Film Deposition
Waste Heat Recovery
Thermoelectric Generators
N-type
P-type
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Изготовление термоэлектрических тонких пленок Bi
2
Te
3
и Sb
2
Te
3
с использованием метода радиочастотного магнетронного распыления
Радиочастотное магнетронное распыление термоэлектрических тонких пленок Bi
2
Te
3
и Sb
2
Te
3
на стеклянных подложках
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