Bruk av fotoniske krystaller bremse lys bølgeledere og hulrom har blitt mye vedtatt av fotonikk samfunnet i mange ulike applikasjoner. Derfor fabrikasjon og karakterisering av disse enhetene er av stor interesse. Denne artikkelen beskriver vår fabrikasjon teknikk og to optiske karakterisering metoder, nemlig: interferometrisk (bølgeledere) og resonant spredning (hulrom).
Slow lys har vært en av de aktuelle emner i fotonikk samfunnet i det siste tiåret, genererer stor interesse både fra et grunnleggende synspunkt og for sin betydelig potensial for praktiske anvendelser. Bremse lys fotoniske krystall bølgeledere, i særdeleshet, har spilt en stor rolle og har blitt anvendt for å forsinke optiske signaler 1-4 og forbedring av både lineære og ikke-lineære 5-7 enheter. 8-11
Fotoniske krystaller hulrom oppnå lignende effekter til at av bremse lys bølgeledere, men over en redusert båndbredde. Disse hulrom tilbyr høy Q-factor/volume ratio, for realisering av optisk 12 og elektrisk 13 pumpet ultra-lav terskel lasere og forbedring av ikke-lineære effekter. 14-16 Videre passive filtre 17 og modulatorer 18-19 er blitt demonstrert, stille ultra-smal linje bredde, høy free-spektral range og ta verdier av lavt energiforbruk.
For å oppnå disse spennende resultatene, må en robust repeterbare fabrikasjon protokoll skal utvikles. I denne artikkelen tar vi en grundig titt på vår fabrikasjon protokoll som sysselsetter elektron-litografi for definisjonen av fotoniske krystaller mønstre og bruker våte og tørre etsning teknikker. Våre optimalisert fabrikasjon oppskrift resulterer i fotoniske krystaller som ikke lider av vertikal asymmetri og viser svært god kant-vegg ruhet. Vi diskuterer resultatene av varierende etsning parametere og de skadelige effekter som de kan ha på en enhet, som fører til en diagnostisk rute som kan tas for å identifisere og eliminere lignende problemer.
Nøkkelen til å vurdere bremse lys bølgeledere er den passive karakterisering av overføring og gruppeindeksnummeret spektra. Forskjellige fremgangsmåter er blitt rapportert, spesielt løse de Fabry-Perot frynsene overføring spektrum 20-21 end interferometriske teknikker. 22-25 Her beskriver vi en direkte, bredbånd måleteknikken kombinere spektral interferometri med Fourier transform analyse. 26 Vår metode skiller seg ut for sin enkelhet og kraft, som vi kan karakterisere en naken fotoniske krystaller med tilgang bølgeledere, uten behov for for on-chip forstyrrelser komponenter, og oppsettet består bare av en Mach-Zehnder interferometer, uten behov for bevegelige deler og forsinkelse skanninger.
Når karakterisere fotoniske krystall hulrom, teknikker involverer interne kilder 21 eller eksterne bølgeledere direkte koplet til hulrommet 27 innvirkning på resultatene av hulrommet selv, derved forvrengt målingen. Her beskriver vi en ny og ikke-intrusive teknikk som gjør bruk av en kryss-polarisert probe bjelke og er kjent som resonans spredning (RS), hvor sonden er koblet ut av flyet inn i hulrommet gjennom en objektiv. Teknikken ble først demonstrasjonented av McCutcheon et al. 28 og videreutviklet av Galli et al. 29
Eksempel fabrikasjon
Vårt valg av elektron-strålen motstå (dvs. ZEP 520A) er på grunn av sin samtidig høy oppløsning og etch motstand. Vi tror at ZEP 520A kan bli påvirket av UV-lys som slippes ut fra overhead laboratorium lys, slik vi anbefaler å plassere spin-belagte prøver i UV ugjennomsiktig beholdere mens flytte dem fra ett laboratorium til et annet.
Flytter til definere fotoniske krystaller mønsteret, før å utsette prøven har vi funnet at…
The authors have nothing to disclose.
Forfatterne takknemlig erkjenner Dr Matteo Galli, Dr Simone L. Portalupi og professor Lucio C. Andreani fra Universitetet i Pavia for personer diskusjoner relatert til RS teknikk og utførelse av målinger.
Name | Company | Catalogue number | Comments (optional) |
Acetone | Fisher Scientific | A/0520/17 | CAUTION: flammable, use good ventilation and avoid all ignition sources. |
Isopropanol | Fisher Scientific | P/7500/15 | CAUTION: flammable, use good ventilation and avoid all ignition sources. |
Electron Beam resist | Marubeni Europe plc. | ZEP520A | CAUTION: flammable, harmful by inhalation, avoid contact with skin and eyes. |
Xylene | Fisher Scientific | X/0100/17 | CAUTION: flammable and highly toxic, use good ventilation, avoid all ignition sources, avoid contact with skin and eyes. |
Microposit S1818 G2 | Chestech Ltd. | 10277866 | CAUTION: flammable and causes irritation to eyes, nose and respiratory tract. |
Microposit Developer MF-319 | Chestech Ltd. | 10058721 | CAUTION: alkaline liquid and can cause irritation to eyes, nose and respiratory tract. |
Hydrofluoric Acid | Fisher Scientific | 22333-5000 | CAUTION: extremely corrosive, readily destroys tissue; handle with full personal protective equipment rated for HF. |
Microposit 1165 Remover | Chestech Ltd. | 10058734 | CAUTION: flammable and causes irritation to eyes, nose and respiratory tract. |
Sulphuric Acid | Fisher Scientific | S/9120/PB17 | CAUTION: corrosive and very toxic; handle with personal protective equipment and avoid inhalation of vapours or mists. |
Hydrogen Peroxide | Fisher Scientific | BPE2633-500 | CAUTION: very hazardous in case of skin and eye contact; handle with personal protective equipment. |
Equipment | |||
Silicon-on-Insulator wafer | Soitec | G8P-110-01 | |
Diamond Scribe | J & M Diamond Tool Inc. | HS-415 | |
Microscope slides | Fisher Scientific | FB58622 | |
Beakers | Fisher Scientific | FB33109 | |
Tweezers | SPI Supplies | PT006-AB | |
Ultrasonic Bath | Camlab | 1161436 | |
Spin-Coater | Electronic Micro Systems Ltd. | EMS 4000 | |
Pipette | Fisher Scientific | FB55343 | |
E-beam Lithography System | Raith Gmbh | Raith 150 | |
Reactive Ion Etching System | Proprietary In-house Designed | — | |
UV Mask Aligner | Karl Suss | MJB-3 | |
ASE source | Amonics | ALS-CL-15-B-FA | CAUTION: invisible IR radiation. |
Single mode fibers | Thorlabs | P1-SMF28E-FC-2 | |
3 dB fiber splitters | Thorlabs | C-WD-AL-50-H-2210-35-FC/FC | |
Aspheric lenses | New Focus | 5720-C | |
XYZ stages | Melles Griot | 17AMB003/MD | |
Polarizing beamsplitter cube | Thorlabs | PBS104 | |
IR detector | New Focus | 2033 | |
100× Objective | Nikon | BD Plan 100x | |
Oscilloscope | Tektronix | TDS1001B | |
Optical Spectrum Analyzer | Advantest | Q8384 | |
IR sensor card | Newport | F-IRC2 | |
TLS source | Agilent | 81940A | CAUTION: invisible IR radiation. |
IR Camera | Electrophysics | 7290A | |
IR Detector | New Focus | 2153 | |
Digital Multimeter | Agilent | 34401A | |
Illumination | Stocker Yale | Lite Mite | |
Monochromator | Spectral Products | DK480 | |
Array Detector | Andor | DU490A-1.7 | |
GIF Fiber | Thorlabs | 31L02 |