Fabbricazione di sensore di immagine flessibile basato su Francesca laterale fototransistori

Summary

Presentiamo un metodo dettagliato per fabbricare una matrice di fototransistor Paola deformabile laterale per sensori di immagine curvo. La matrice di fototransistor con una forma di mesh a trama larga, che si compone di isole di silicio sottile ed estensibile in metallo interconnettori, fornisce flessibilità ed elasticità. L'analizzatore di parametro caratterizza la proprietà elettrica del fabbricato fototransistor.

Abstract

Fotorivelatori flessibile sono stati intensamente studiati per l'utilizzo di sensori di immagine curvo, che sono una componente cruciale in sistemi di imaging bio-ispirati, ma rimangono diversi punti difficili, come un efficienza di assorbimento basso a causa di un sottile strato attivo e basso flessibilità. Presentiamo un metodo avanzato per fabbricare una matrice fototransistor flessibile con un miglioramento delle prestazioni elettrica. La prestazione elettrica eccezionale è guidata da una bassa corrente di buia a causa di impurità profonde doping. Interconnettori metallo estensibile e flessibile contemporaneamente offrono stabilità elettrica e meccanica in uno stato altamente deforme. Il protocollo descrive in modo esplicito il processo di fabbricazione di fototransistor utilizzando una membrana di silicio sottile. Misurando le caratteristiche I-V del dispositivo completato negli stati deformati, dimostriamo che questo approccio migliora la stabilità meccanica ed elettrica della matrice fototransistor. Ci aspettiamo che questo approccio a un fototransistor flessibile può essere ampiamente usato per le applicazioni non solo generazione imaging systems/optoelettronica, ma anche dispositivi indossabili come sensori tattili/pressione/temperatura e monitoraggi di integrità.

Introduction

Sistemi di imaging bio-ispirati possono fornire molti vantaggi rispetto alla convenzionale imaging systems^1,2,3,4,5. Retina o ommatidi emisferiche è un componente notevole del sistema visivo biologico^1,2,6. Un sensore di immagine curvo, che imita l'elemento critico degli occhi degli animali, può fornire una configurazione compatta e semplice dei sistemi ottici con aberrazioni di basso⁷. Dive....

Protocol

Attenzione: Alcune sostanze chimiche (cioè., acido fluoridrico, tamponata ossido mordenzante, alcool isopropilico, ecc.) ai fini del presente protocollo possa essere pericoloso per la salute. Si prega di consultare tutte le schede di dati di sicurezza prima di qualsiasi preparazione del campione avviene. Utilizzare appropriati dispositivi di protezione individuale (ad es., camici, occhiali protettivi, guanti) e controlli tecnici (ad es., bagnato stazione, cappa aspirante) quando si maneggia mordenzanti e solventi.

1. Si Doping e isolamento

Nota: Vedere Figura....

Results

Figura 3a e 3b mostrano la struttura progettata e fabbricata di NIPIN PTR considerando precedente studi^2,23. L'inserto in Figura 3a esibisce una caratteristica di base V di PTR. I parametri strutturali dettagliati di PTR sono riportati nella Figura 3b. Il processo di anti-doping per un strato Si su un wafer SOI è stata condot.......

Discussion

La tecnologia di fabbricazione descritta qui contribuisce in modo significativo al progresso dell'elettronica avanzata e dispositivi indossabili. I concetti fondamentali di questo approccio utilizzano una sottile membrana di Si e metallo interconnettori capace di stretching. Anche se Si è un materiale fragile e duro che può facilmente essere fratturato, uno strato molto sottile Si può ottenere una flessibilità^26,27. Nel caso l'interconnettore metallo, la forma on.......

Materials

List of materials used in this article

Name	Company	Catalog Number	Comments
MBJ3	karl suss	MJB3 UV400 MASK ALIGNER	Allineatore maschera
80 plus RIE	Oxford strumenti	Plasmalab 80 Plus per RIE	ICP-RIE
80 plus PECVD	Oxford instruments	Plasmalab 80 Plus forPECVD,PECVD
SF-100ND	Rhabdos Co., Ltd.	SF-100ND	Spin coater
Polyimmide	Sigma-Aldrich	575771	Poly (dianidride piromellitico-co-4,4′-ossidianilina), soluzione di acido ammicico
SOI (silicio su isolante) wafer, 8 pollici	Soitec	SOI (silicio su isolante) wafer	8 pollici 8 pollici SOI Wafer (silicio Spessore: 1.25μ m)
Acetone	Duksan Pure Chemicals Co., Ltd.	3051	Acetone
Alcool isopropilico (IPA)	Duksan Pure Chemicals Co., Ltd.	4614	Alcool isopropilico (IPA)
Ossido tamponato Etch 6:1	Avantor	1278	Ossido tamponato Etch 6:1
HSD150-03P	Misung Scientific Co., Ltd	HSD150-03P	Piastra riscaldante
AZ5214	Microchimico	AZ5214	Fotoresist
MIF300	Microchimico	MIF300	Sviluppatore
SYLGARD184	Dow Corning	SYLGARD184	Elastomero polidimetilsilossano
Acido fluoridrico	Fornitore verificato - Duksan Pure Chemicals Co., Ltd.	2919	Acido fluoridrico
CR-7	KMG Chemicals, Inc	210023	Mordenzante per maschera cromata
MFCD07370792	Sigma-Aldrich	651842	Mordenzante per l'oro