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Articolo metodologico

Una piattaforma con punta di silicio di rilevamento in fibra ottica ad alta risoluzione e risposta veloce

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DOI:

10.3791/59026

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7 gennaio 2019

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* These authors contributed equally

In questo articolo

Sommario

Questo lavoro segnala una punta di silicone fibra ottica rilevamento piattaforma innovativa (Si-FOSP) per la misura ad alta risoluzione e risposta rapida di una varietà di parametri fisici quali la temperatura, flusso e la radiazione. Applicazioni di questo Si-FOSP di calibrazione da ricerca oceanografica, industria meccanica, alla ricerca sull'energia di fusione.

Abstract

In questo articolo, vi presentiamo una piattaforma innovativa e promettente praticamente in fibra ottica telerilevamento (FOSP) che abbiamo proposto e dimostrato di recente. Questo FOSP si basa su un interferometro di Fabry-Perot di silicio (FPI) fissato all'estremità della fibra, denominata Si-FOSP in quest'opera. Il Si-FOSP genera un interferogramma determinata dalla lunghezza del cammino ottico (OPL) della cavità di silicio. Misurando altera l'OPL e così sposta interferogramma. A causa delle proprietà uniche ottiche e termiche del materiale silicio, questo Si-FOSP esibisce una prestazioni vantaggiose in termini di sensibilità e velocità. Inoltre, l'industria di fabbricazione di silicio maturo dota il Si-FOSP con eccellente riproducibilità e a basso costo verso le applicazioni pratiche. A seconda delle specifiche applicazioni, sia una versione bassa-finezza o alta-finezza sarà utilizzata, e due metodi di demodulazione di dati saranno adottati di conseguenza. Protocolli dettagliati per la realizzazione di entrambe le versioni di Si-FOSP saranno forniti. Tre applicazioni rappresentative e dei loro risultati secondo verranno mostrati. Quello primo è un termometro subacqueo di prototipo per profilatura termoclini l'oceano, il secondo è un misuratore di flusso per misurare la velocità di flusso nell'oceano, e l'ultimo è un bolometro utilizzato per il monitoraggio radiazioni di scarico da magneticamente confinato al plasma ad alta temperatura.

Introduzione

Sensori in fibra ottica (FOSs) hanno rappresentato il fulcro per molti ricercatori grazie alle sue proprietà uniche, come le sue dimensioni ridotte, il suo basso costo, il suo peso leggero e sua immunità alle interferenze elettromagnetiche (EMI)1. Questi FOSs hanno trovato ampie applicazioni in molti settori quali il monitoraggio ambientale, sorveglianza di oceano, esplorazioni petrolifere e processo industriale, tra gli altri. Quando si tratta del rilevamento temperatura-relativa, il FOSs tradizionali non sono superiori in termini di risoluzione e velocità per i casi dove la misurazione di minuto e variazioni di temperatura veloce è auspicabil....

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Protocollo

1. fabbricazione di sensori Low-Finesse

  1. Fabbricare i pilastri di silicio. Un pezzo di wafer di silicio (DSP) 200-µm di spessore doppio-lato-lucidato del modello in pilastri di silicio standalone (Figura 2a), facilita l'utilizzo di fabbricazione standard del sistema micro-elettro-meccanici (MEMS).
    Nota: La cialda di fantasia è incollata su un wafer di silicio più grande un altro utilizzando un sottile strato di photoresist. La forza di incollaggio di photoresist è abbastanza forte per tenere i pilastri in posizione verticale, ma anche abbastanza debole per staccare dal substrato per i passaggi successivi.
  2. Preparare l....

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Risultati

Si-FOSP come un termometro subacqueo per profilatura termoclini oceano
Ricerca oceanografica recente ha dimostrato che la sfocatura dell'immagine subacquea deriva non solo da torbidità nelle acque contaminate, ma anche dalle microstrutture di temperatura in pulito oceano17,18. L'effetto di quest'ultimo è stato al centro di molti oceanografi, con l'obiettivo di trovare un modo efficace per correggere le immagini.......

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Discussione

La scelta delle dimensioni (lunghezza e diametro) del silicio FPI è fatta sul compromesso tra requisiti sulla risoluzione e velocità. In generale, una dimensione inferiore fornisce una maggiore velocità ma riduce anche la risoluzione2. Una lunghezza corta è vantaggiosa per ottenere una velocità maggiore, ma non è superiore per ottenere una risoluzione elevata dovuto la FWHM espansa delle tacche riflessione. Uso di rivestimenti di HR per ridurre la FWHM può contribuire a migliorare la risoluzione, .......

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Dichiarazioni

È stato rilasciato un brevetto statunitense (n. 9995628 B1) per proteggere le tecnologie correlate.

Ringraziamenti

Questo lavoro è stato supportato dalla US Naval Research Laboratory (Nos. N0017315P0376, N0017315P3755); Ufficio degli Stati Uniti di ricerca navale (Nos. N000141410139, N000141410456); US Department of Energy (Nos. DE-SC0018273, DE-AC02-09CH11466, DE-AC05-00OR22725).

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Materiali

Elenco dei materiali utilizzati in questo articolo
NomeAziendaNumero di catalogoCommenti
200 Proof Etanolo PuroKoptecV1001
5 Canali Duplex CWDMFiber Store5MDD-ABS-FSCWDM
Butterfly Laser Diode MountsTholabsLM14S2
CastAway CTDYellow Springs Instrument
CTDSeabirdSBE 19plus
Misuratore di correnteNortekDispositivo di acquisizione dati vettoriale
National InstrumentsNIUSB4366
Oscilloscopio digitaleRIGOLDS1204B200 MHz 2 GSa/s
Diodo LaserThorlabsLM9LPLunghezza d'onda: 632 nm
Kit terminatore BNC fissoThorlabsFTK01
Funzione Generatore di forme d'onda RIGOLDG4162160 MHz 500 GSa/s
Mannaia ad alta precisioneFujikuraCT-32
Rivestimento dielettrico ad alta riflessioneRivestimento evaporato INC (ECI)I materiali e la struttura del rivestimento sono sconosciuti
I-MON 512Spettrometro Ibsen PhtonicsP/N: 1257110
InGaAs Biased DetectorTholabsDET01CFCuscita FC/PC:0-10V; Quantità: 2
diodi laserQphotonicQFLD-405-20SLunghezza d'onda: 405 nm
Regolatore di corrente a diodi laserTholabsLDC 210C1 A e 100 mA range 
Regolatore di temperatura a diodi laserTholabsTEC 200CQuantità: 2
guanti da esamein lattice HCS
Micro SlidesCorning Incorporated
Larghezza di linea stretta DFB LaserEblanaEP1550-NLW-B06-100FMLunghezza d'onda: 1550 nm
Giuntatrice a fusione in fibra otticaSumitomo electric industries, LTD3822-2
Microscopio ottico e monitorIkegami Tsushinki CompanyPM-127
YokogawaGamma dilunghezze d'onda AQ6370C: 600-1700 nm
Macchina polaccaULTRA TEC41076
Iridi post-montabiliThorlabsQuantità: 2
pompe LaserGooch e Housego0400-0974-SMLunghezza d'onda: 980 nm
Si Fotorivelatore amplificatoThorlabsPDA36ALunghezza d'onda: 350-1100 nm
Wafer di silicioUniversity Spessore del wafer10 & micro; m, 200 & micro; m, 75 & micro; m, 40 & micro; m
Fibra monomodale CorningSMF-28
Fusibile monomodale  Accoppiatore in fibraThorlabsLunghezza d'onda: 1550 nm
SM 125 interogratoreMicron Optics
Pompa sommergibile per acquarioSonglongSL-403
LED superluminescenteDenselight SemiconductorsDL-BP1-1501AGamma di lunghezze d'onda: 1510-1590 nm
Pompa a siringaCole Parmer74905-02
Viaggio Stadio di traslazioneThorlabsLT1
Colla polimerizzabile UVTecnologia epossidicaPB109077
UVGL-15 Compact UV LmapUVPP/N:95-0017-09254/365 nm
Attenuatori ottici variabiliTholabsM-VA/00016951 P/N: VOA50-APC
Analizzatore di spettro ottico :

Riferimenti

  1. Lee, B. Review of the present status of optical fiber sensors. Optical Fiber Technology. 9, 57-79 (2003).
  2. Liu, G., Han, M., Hou, W. High-resolution and fast-response fiber-optic temperature sensor using silicon Fabry-Perot cavity. Optics Express....

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Ristampe e permessi

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