Fabrication of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique

Nurfarhana Ahmad Musri; Yoganash Putthisigamany; Puvaneswaran Chelvanathan; Norasikin Ahmad Ludin; Nadhrah Md Yatim; Ubaidah Syafiq

doi:10.3791/66248

JoVE Journal > Engineering

Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Engineering

تصنيع الأغشية الرقيقة الكهروحرارية Bi₂Te₃ و Sb₂Te₃ باستخدام تقنية الاخرق المغنطرون بتردد الراديو

Published: May 17, 2024

doi:

10.3791/66248

Nurfarhana Ahmad Musri, Yoganash Putthisigamany, Puvaneswaran Chelvanathan, Norasikin Ahmad Ludin, Nadhrah Md Yatim, Ubaidah Syafiq

¹Solar Energy Research Institute (SERI),Universiti Kebangsaan Malaysia, ²Faculty of Science and Technology,Universiti Sains Islam Malaysia

Summary

تصف المخطوطة بروتوكولا لرش المغنطرون بالترددات الراديوية للأغشية الرقيقة الكهروحرارية Bi₂Te₃ و Sb₂Te₃ على ركائز زجاجية ، والتي تمثل طريقة ترسيب موثوقة توفر مجموعة واسعة من التطبيقات مع إمكانية لمزيد من التطوير.

Abstract

من خلال الدراسات المختلفة على المواد الكهروحرارية (TE) ، يوفر تكوين الأغشية الرقيقة مزايا فائقة على TEs السائبة التقليدية ، بما في ذلك القدرة على التكيف مع الركائز المنحنية والمرنة. تم استكشاف العديد من طرق ترسيب الأغشية الرقيقة المختلفة ، ومع ذلك لا يزال رش المغنطرون مواتيا نظرا لكفاءة الترسيب العالية وقابلية التوسع. لذلك ، تهدف هذه الدراسة إلى تصنيع طبقة رقيقة من تيلوريد البزموت (Bi₂Te₃) وتيلوريد الأنتيمون (Sb₂Te₃) عبر طريقة رش المغنطرون بالتردد اللاسلكي (RF). تم ترسيب الأغشية الرقيقة على ركائز زجاج الجير الصودا في درجة الحرارة المحيطة. تم غسل الركائز أولا باستخدام الماء والصابون ، وتنظيفها بالموجات فوق الصوتية بالميثانول والأسيتون والإيثانول والماء منزوع الأيونات لمدة 10 دقائق ، وتجفيفها بغاز النيتروجين والصفيحة الساخنة ، وأخيرا معالجتها تحت الأوزون فوق البنفسجي لمدة 10 دقائق لإزالة المخلفات قبل عملية الطلاء. تم استخدام هدف رش Bi₂Te₃ و Sb₂Te₃ مع غاز الأرجون ، وتم إجراء الاخرق المسبق لتنظيف سطح الهدف. بعد ذلك ، تم تحميل عدد قليل من الركائز النظيفة في غرفة الاخرق ، وتم تفريغ الغرفة حتى وصل الضغط إلى 2 × ^10-5 Torr. تم ترسيب الأغشية الرقيقة لمدة 60 دقيقة مع تدفق الأرجون من 4 sccm وطاقة التردد اللاسلكي عند 75 W و 30 W ل Bi₂Te₃ و Sb₂Te₃ ، على التوالي. نتج عن هذه الطريقة أغشية رقيقة من النوع n من النوع Bi₂Te₃ و p-type Sb₂Te₃ .

Introduction

تجذب المواد الكهروحرارية (TE) قدرا كبيرا من الاهتمام البحثي فيما يتعلق بقدرتها على تحويل الطاقة الحرارية إلى كهرباء عبر تأثير Seebeck¹ والتبريد عبر تبريد بلتيير². يتم تحديد كفاءة تحويل مادة TE من خلال فرق درجة الحرارة بين الطرف الساخن لساق TE والطرف البارد. بشكل عام ، كلما زاد الفرق في درجة الحرارة ، ارتفع رقم الجدارة TE وزادت كفاءته³. تعمل الشركة المصرية للاتصالات دون الحاجة إلى أجزاء ميكانيكية إضافية تحتوي على الغاز أو السائل في عملياتها، ولا تنتج أي نفايات أو تلوث، مما يجعلها آمنة بيئيا وتعتبر نظاما لحصاد الطاقة الخضراء.

يظل تيلورايد البزموت ، Bi₂Te₃ ، وسبائكه أهم فئة من مواد TE. حتى في توليد الطاقة الكهروحرارية ، مثل استعادة الحرارة المهدرة ، يتم استخدام سبائك Bi₂Te₃ بشكل شائع نظرا لكفاءتها الفائقة حتى 200 °C⁴ وتظل مادة TE ممتازة في درجة الحرارة المحيطة على الرغم من قيمة zT لأكثر من 2 في مواد TE المختلفة⁵. درست العديد من الأوراق المنشورة خصائص TE لهذه المادة ، مما يدل على أن القياس المتكافئ Bi₂Te₃ له معامل Seebeck سلبي⁶^،⁷^،⁸ ، مما يشير إلى خصائص النوع n. ومع ذلك ، يمكن تعديل هذا المركب إلى النوع p و n عن طريق صناعة السبائك مع تيلورايد الأنتيمون (Sb₂Te₃) وسيلينيد البزموت (Bi₂Se₃) ، على التوالي ، مما يمكن أن يزيد من فجوة النطاق وتقليل التأثيرات ثنائية القطب⁹.

تيلورايد الأنتيمون ، Sb₂Te₃ هي مادة TE أخرى راسخة ذات شخصية عالية من الجدارة في درجة حرارة منخفضة. في حين أن القياس المتكافئ Bi₂Te₃ هو TE رائع مع خصائص من النوع n ، فإن Sb₂Te₃ له خصائص من النوع p. في بعض الحالات ، غالبا ما تعتمد خصائص مواد TE على التركيب الذري للمادة مثل النوع n Te-rich Bi₂Te₃ ، ولكن النوع p Bi-rich Bi₂Te₃ بسبب عيوب متقبل Bi_Te ^{antisite 4}. ومع ذلك ، فإن Sb₂Te₃ دائما من النوع p بسبب طاقة التكوين المنخفضة نسبيا لعيوب Sb_Te المضادة للموقع ، حتى في Sb₂Te₃⁴ الغنية _{ب Te.}وبالتالي ، تصبح هاتان المادتان مرشحتين مناسبتين لتصنيع وحدة p-n من المولد الكهروحراري لمختلف التطبيقات.

تصنع TEGs التقليدية الحالية من سبائك مكعبات من أشباه الموصلات من النوع n والنوع p المتصلة رأسيا في السلسلة¹⁰. لقد تم استخدامها فقط في المجالات المتخصصة نظرا لكفاءتها المنخفضة وطبيعتها الضخمة والصلبة. بمرور الوقت ، بدأ الباحثون في استكشاف هياكل الأغشية الرقيقة لتحسين الأداء والتطبيق. يذكر أن TE للأغشية الرقيقة مزايا على نظيرتها الضخمة مثل zT العالي بسبب الموصلية الحرارية المنخفضة^11,12 ، وكمية أقل من المواد وتكامل أسهل مع الدائرة المتكاملة¹². نتيجة لذلك ، كانت أبحاث TE المتخصصة على الأجهزة الكهروحرارية ذات الأغشية الرقيقة في ازدياد مستفيدة من مزايا بنية المواد النانوية^13,14.

التصنيع الدقيق للأغشية الرقيقة مهم لتحقيق مواد TE عالية الأداء. تم بحث وتطوير طرق الترسيب المختلفة بما في ذلك ترسيب البخار الكيميائي¹⁵ ، ترسيب الطبقة الذرية¹⁶^،¹⁷ ، ترسيب الليزر النبضي¹⁸^،¹⁹^،²⁰ ، طباعة الشاشة⁸^،²¹ ، و epitaxy الحزمة الجزيئية²² لخدمة هذا الغرض. ومع ذلك ، فإن غالبية هذه التقنيات تعاني من ارتفاع تكلفة التشغيل أو عملية النمو المعقدة أو إعداد المواد المعقدة. على العكس من ذلك ، فإن رش المغنطرون هو نهج فعال من حيث التكلفة لإنتاج أغشية رقيقة عالية الجودة أكثر كثافة ، وتظهر حجم حبيبات أصغر ، ولها التصاق أفضل ، وتوحيد عالي²³^،²⁴^،²⁵.

يعد رش المغنطرون أحد عمليات ترسيب البخار الفيزيائي القائم على البلازما (PVD) والذي يستخدم على نطاق واسع في التطبيقات الصناعية المختلفة. تعمل عملية الاخرق عندما يتم تطبيق جهد كاف على هدف (الكاثود) ، وتقصف الأيونات من بلازما التفريغ المتوهج الهدف وتطلق ليس فقط الإلكترونات الثانوية ، ولكن أيضا ذرات مواد الكاثود التي تؤثر في النهاية على سطح الركيزة وتتكثف كغشاء رقيق. تم تسويق عملية الاخرق لأول مرة في ثلاثينيات القرن العشرين وتحسنت في ستينيات القرن العشرين ، واكتسبت اهتماما كبيرا بسبب قدرتها على إيداع مجموعة واسعة من المواد باستخدام التيار المباشر (DC) والاخرق RF^26,27. يتغلب رش المغنطرون على معدل الترسيب المنخفض وتأثير تسخين الركيزة العالي من خلال استخدام المجال المغناطيسي. يحصر المغناطيس القوي الإلكترونات في البلازما عند سطح الهدف أو بالقرب منه ويمنع تلف الغشاء الرقيق المتكون. يحافظ هذا التكوين على القياس الكيميائي وتوحيد سمك الغشاء الرقيق^{المترسب 28}.

كما تمت دراسة تحضير الأغشية الرقيقة الكهروحرارية Bi₂Te₃ و Sb₂Te₃ باستخدام طريقة الاخرق المغنطرون على نطاق واسع ، مع دمج تقنية مثل المنشطات⁴^،²⁹^،³⁰ والتلدين³¹ في الإجراءات ، مما يؤدي إلى أداء وجودة مختلفة. تستخدم الدراسة التي أجراها Zheng et ^al.32 طريقة الانتشار المستحث حراريا لنشر طبقة Bi و Te المخدرة Ag والتي تم رشها بشكل منفصل. تتيح هذه الطريقة التحكم الدقيق في تكوين الأغشية الرقيقة وانتشار Te عن طريق الحث الحراري يحمي Te من التطاير. يمكن أيضا تحسين خصائص الأغشية الرقيقة من خلال عملية الطلاء المسبق³³ قبل الاخرق مما يؤدي إلى توصيل كهربائي أفضل بسبب حركة الناقل العالية ، وبالتالي تعزيز عامل القدرة. بخلاف ذلك ، حسنت الدراسة التي أجراها Chen et ^al.34 الأداء الكهروحراري ل Bi₂Te₃ عن طريق تعاطي المنشطات Se عبر طريقة تفاعل الانتشار بعد السيلين. أثناء العملية ، يتبخر Se وينتشر في أغشية Bi-Te الرقيقة لتشكيل أفلام Bi-Te-Se ، مما ينتج عنه عامل طاقة أعلى بمقدار 8 أضعاف من Bi₂Te₃ غير المضبوط.

تصف هذه الورقة إعدادنا التجريبي وإجراءاتنا لتقنية الاخرق المغنطرون RF لإيداع الأغشية الرقيقة Bi₂Te₃ و Sb₂Te₃ على ركائز زجاجية. تم إجراء الاخرق في تكوين من أعلى إلى أسفل كما هو موضح في الرسم التخطيطي في الشكل 1 ، تم تركيب الكاثود بزاوية مع الركيزة العادية ، مما أدى إلى بلازما أكثر تركيزا وتقاربا مع الركيزة. تم توصيف الأفلام بشكل منهجي باستخدام قياس FESEM و EDX وتأثير Hall ومعامل Seebeck لدراسة مورفولوجيا سطحها وسمكها وتكوينها وخصائصها الكهروحرارية.

الشكل 1: رسم تخطيطي لرش التكوين من أعلى إلى أسفل. تم تصميم الرسم البياني وفقا ، ولكن ليس للمقياس ، لتكوين الاخرق الفعلي المتاح لهذه الدراسة بما في ذلك ترتيب الركائز الزجاجية المراد رشها من الأعلى. يرجى النقر هنا لعرض نسخة أكبر من هذا الرقم.

Protocol

1. إعداد الركيزة امسح الركائز الزجاجية بقطعة قماش خالية من النسالة لإزالة الأوساخ أو الحطام السائب. اغسل ركائز الزجاج بالماء والصابون ، واستخدم الفرشاة لتنظيف أي أوساخ على الزجاج. تحضير جميع المذيبات المذكورة أدناه في أكواب ، وغمر الركائز الزجاجية في المذيب وصوتنة وفق…

Representative Results

تم تسجيل الصور المجهرية المقطعية للأغشية الرقيقة Bi2Te3 و Sb2Te3 باستخدام FESEM كما هو موضح في الشكل 3A والشكل 3B ، على التوالي. يبدو سطح الفيلم الكلي موحدا وسلسا. من الواضح أن الحبيبات البلورية للأغشية الرقيقة Bi2Te3 كانت سداسية الشك…

Discussion

لا تمثل التقنية المقدمة في هذه الورقة صعوبة كبيرة في إعداد المعدات والتنفيذ. ومع ذلك، لا بد من تسليط الضوء على عدة خطوات حاسمة. كما هو مذكور في الخطوة 2.2.10 من البروتوكول ، فإن حالة الفراغ المثلى هي المفتاح لإنتاج أغشية رقيقة عالية الجودة مع تلوث أقل حيث يزيل الفراغ الأكسجين المتبقي في الغرف?…

Disclosures

The authors have nothing to disclose.

Acknowledgements

يود المؤلفون أن يشكروا الدعم المالي المقدم من منحة أبحاث جامعة كيبانغسان ماليزيا: UKM-GGPM-2022-069 لإجراء هذا البحث.

Materials

Acetone	Chemiz (M) Sdn. Bhd.	1910151	Liquid, Flammable
Antimony Telluride, Sb2Te3	China Rare Metal Material Co.,Ltd	C120222-0304	Diameter 50.8 mm, Thickness 6.35 mm, 99.999% purity
Bismuth Telluride, Bi2Te3	China Rare Metal Material Co.,Ltd	CB151208-0501	Diameter 50.8 mm, Thickness 4.25 mm, 99.999% purity
Ethanol	Chemiz (M) Sdn. Bhd.	2007081	Liquid, Flammable
Field Emission Scanning Electron Microscope	Zeiss	MERLIN	Equipped with EDX
Hall effect measurement system	Aseptec Sdn. Bhd.	HMS ECOPIA 3000	–
Handheld digital multimeter	Prokits Industries Sdn. Bhd.	303-150NCS	–
HMS-3000	Aseptec Sdn Bhd.	HMS ECOPIA 3000	Hall effect measurement software
Linseis_TA	Linseis Messgeräte GmbH	LSR-3	Linseis thermal analysis software
Methanol	Chemiz (M) Sdn. Bhd.	2104071	Liquid, Flammable
RF-DC magnetron sputtering	Kurt J. Lesker Company	–	Customized hybrid system
Seebeck coefficient measurement system	Linseis Messgeräte GmbH	LSR-3	–
SmartTiff	Carl Zeiss Microscopy Ltd	–	SEM image thickness measurement software
Ultrasonic bath	Fisherbrand	FB15055	–
UV ozone cleaner	Ossila Ltd	L2002A3-UK	–

References

Ochieng, A. O., Megahed, T. F., Ookawara, S., Hassan, H. Comprehensive review in waste heat recovery in different thermal energy-consuming processes using thermoelectric generators for electrical power generation. Proc Safety Environ Prot. 162, 134-154 (2022).
Shilpa, M. K., et al. A systematic review of thermoelectric Peltier devices: Applications and limitations. Fluid Dyn Mater Proc. 19 (1), 187-206 (2022).
Jiang, W., Huang, Y. . Thermoelectric technologies for harvesting energy from pavements. Eco-efficient Pavement Construction Materials. , (2020).
Witting, I. T., et al. The thermoelectric properties of Bismuth telluride. Adv Elect Mater. 5 (6), 1-20 (2019).
Isotta, E., et al. Towards low cost and sustainable thin film thermoelectric devices based on quaternary chalcogenides. Adv Funct Mater. 32 (32), 2202157 (2022).
Yonezawa, S., Tabuchi, T., Takashiri, M. Atomic composition changes in bismuth telluride thin films by thermal annealing and estimation of their thermoelectric properties using experimental analyses and first-principles calculations. J Alloys Comp. 841, 155697 (2020).
Fan, P., et al. High-performance bismuth telluride thermoelectric thin films fabricated by using the two-step single-source thermal evaporation. J Alloys Comp. 819, 153027 (2020).
Amin, A., et al. Screen-printed bismuth telluride nanostructured composites for flexible thermoelectric applications. JPhys Energy. 4 (2), 024003 (2022).
Witting, I. T., Ricci, F., Chasapis, T. C., Hautier, G., Snyder, G. J. The thermoelectric properties of n-type Bismuth telluride: Bismuth selenide alloys Bi2Te3−xSex. Research. 2020, 4361703 (2020).
Shi, X. L., Zou, J., Chen, Z. G. Advanced thermoelectric design: From materials and structures to devices. Chem Rev. 120 (15), 7399 (2020).
Ferrando-Villalba, P., et al. Measuring device and material ZT in a thin-film Si-based thermoelectric microgenerator. Nanomaterials. 9 (4), 653 (2019).
Karthikeyan, V., et al. Wearable and flexible thin film thermoelectric module for multi-scale energy harvesting. J Power Sources. 455, 227983 (2020).
Guo, X., He, Y. Mathematical modeling and optimization of platform service supply chains: A literature review. Mathematics. 10 (22), 4307 (2022).
Syafiq, U., et al. Facile and low-cost fabrication of Cu/Zn/Sn-based ternary and quaternary chalcogenides thermoelectric generators. ACS Appl Ener Mater. 5 (5), 5909-5918 (2022).
Newbrook, D. W., et al. Improved thermoelectric performance of Bi2Se3 alloyed Bi2Te3 thin films via low pressure chemical vapour deposition. J Alloys Comp. 848, 156523 (2020).
Lim, S. S., et al. Carrier modulation in Bi2Te3-based alloys via interfacial doping with atomic layer deposition. Coatings. 10 (6), 1-8 (2020).
Chen, X., Baumgart, H. Advances in atomic layer deposition (ALD) nanolaminate synthesis of thermoelectric films in porous templates for improved seebeck coefficient. Materials. 13 (6), 1-20 (2020).
Darwish, A. M., et al. Thermoelectric properties of Al-doped ZnO composite films with polymer nanoparticles prepared by pulsed laser deposition. Composites Part B: Engineering. 167, 406-410 (2019).
Symeou, E., Nicolaou, C., Kyratsi, T., Giapintzakis, J. Enhanced thermoelectric properties in vacuum-annealed Bi0.5Sb1.5Te3 thin films fabricated using pulsed laser deposition. J Appl Phys. 125 (21), 0 (2019).
Wudil, Y. S., Gondal, M. A., Rao, S. G., Kunwar, S., Alsayoud, A. Q. Substrate temperature-dependent thermoelectric figure of merit of nanocrystalline Bi2Te3 and Bi2Te2.7Se0.3 prepared using pulsed laser deposition supported by DFT study. Ceramics Int. 46 (15), 24162-24172 (2020).
Sousa, V., et al. High Seebeck coefficient from screen-printed colloidal PbSe nanocrystals thin film. Materials. 15 (24), 8805 (2022).
Rao, D., et al. High mobility and high thermoelectric power factor in epitaxial ScN thin films deposited with plasma-assisted molecular beam epitaxy. Appl Phys Lett. 116 (15), 152103 (2020).
Hu, B., et al. Advances in flexible thermoelectric materials and devices fabricated by magnetron sputtering. Small Sci. , 2300061 (2023).
Gudmundsson, J. T. Physics and technology of magnetron sputtering discharges. Plasma Sources Science and Technology. 29 (11), 113001 (2020).
Tani, J. I., Ishikawa, H. Thermoelectric properties of Mg2Sn thin films fabricated using radio frequency magnetron sputtering. Thin Solid Films. 692, 137601 (2019).
Gudmundsson, J. T., Lundin, D. Introduction to magnetron sputtering. High Power Impulse Magnetron Sputtering. , 1-48 (2019).
Hossain, E. S., et al. Fabrication of Cu2SnS3 thin film solar cells by sulphurization of sequentially sputtered Sn/CuSn metallic stacked precursors. Solar Energy. 177, 262-273 (2019).
Maurya, D. K., Sardarinejad, A., Alameh, K. Recent developments in R.F. magnetron sputtered thin films for pH sensing applications-an overview. Coatings. 4 (4), 756-771 (2014).
Ahmad, F., et al. Effect of doping and annealing on thermoelectric properties of Bismuth telluride thin films. J Electron Mater. 49 (7), 4195-4202 (2020).
Zhou, Y., Li, L., Tan, Q., Li, J. F. Thermoelectric properties of Pb-doped bismuth telluride thin films deposited by magnetron sputtering. J Alloys Comp. 590, 362-367 (2014).
Takayama, K., Takashiri, M. Multi-layered-stack thermoelectric generators using p-type Sb2Te3 and n-type Bi2Te3 thin films by radio-frequency magnetron sputtering. Vacuum. 144, 164-171 (2017).
Zheng, Z. H., et al. Harvesting waste heat with flexible Bi2Te3 thermoelectric thin film. Nat Sustain. 6 (2), 180-191 (2023).
Zhang, J., et al. Effects of Si Substrates with Variable Initial Orientations on the Growth and Thermoelectric Properties of Bi-Sb-Te Thin Films. Nanomaterials. 13 (2), 257 (2023).
Chen, Y. X., et al. Realizing high thermoelectric performance in n-type Bi2Te3 based thin films via post-selenization diffusion. J Mater. 9 (4), 618-625 (2023).
Zakaria, Z., et al. Effects of sulfurization temperature on Cu2ZnSnS4 thin film deposited by single source thermal evaporation method. Jpn J Appl Phys. 54, (2015).
Amirghasemi, F., Kassegne, S. Effects of RF magnetron sputtering deposition power on crystallinity and thermoelectric properties of Antimony telluride and Bismuth telluride thin films on flexible substrates. J Electron Mater. 50 (4), 2190-2198 (2021).
Baptista, A., et al. On the physical vapour deposition (PVD): Evolution of magnetron sputtering processes for industrial applications. Procedia Manu. 17, 746-757 (2018).
Heu, R., Shahbazmohamadi, S., Yorston, J., Capeder, P. Target material selection for sputter coating of SEM samples. Microscopy Today. 27 (4), 32-36 (2019).
Marquardt, N. . Introduction to the principles of vacuum physics. , 1-24 (1999).
Ayachi Omar, A., Kashapov, N. F., Luchkin, A. G., Ayachi Amor, A., Ayachi Amar, A. Effect of cooling system design on the heat dissipation of the magnetron sensitive components with rectangular target during sputtering by Ar+. Results in Engineering. 16, 100696 (2022).
Sharma, R., Sharma, S. Why sputtering target cracks. Zenodo. , (2020).
Huang, P. C., et al. The effect of sputtering parameters on the film properties of molybdenum back contact for CIGS solar cells. Int J Photoener. 2013, 390824 (2013).
Yin, Z., et al. Effect of sputtering process parameters on the uniformity of copper film deposited in micro-via. J Mater Res Technol. 25, 5249-5259 (2023).
Ejaz, H., Hussain, S., Zahra, M., Saharan, Q. M., Ashiq, S. Several sputtering parameters affecting thin film deposition. J Appl Chem Sci Int. 13 (3), 41-49 (2022).
Mandal, P., Singh, U. P., Roy, S. A review on the effects of PVD RF sputtering parameters on rare earth oxide thin films and their applications. IOP Conf. Ser: Mater Sci Eng. 1166 (1), 012022 (2021).
Sahu, B. P., Sarangi, C. K., Mitra, R. Effect of Zr content on structure property relations of Ni-Zr alloy thin films with mixed nanocrystalline and amorphous structure. Thin Solid Films. 660, 31-45 (2018).
Sahu, B. P., Dutta, A., Mitra, R. Influence of substrate bias voltage on structure and properties of DC magnetron sputtered Ni-Zr alloy thin films. J Mater Res. 35 (12), 1543-1555 (2020).
Yaqub, T. B., Vuchkov, T., Sanguino, P., Polcar, T., Cavaleiro, A. Comparative study of DC and RF sputtered MoSe2 coatings containing carbon-An approach to optimize stoichiometry, microstructure,crystallinity and hardness. Coatings. 10 (2), 133 (2020).
Kim, J., et al. Effect of IGZO thin films fabricated by Pulsed-DC and RF sputtering on TFT characteristics. Mater Sci Semicond Proc. 120, 105264 (2020).
Panepinto, A., Snyders, R. Recent advances in the development of nano-sculpted films by magnetron sputtering for energy-related applications. Nanomaterials. 10 (10), 1-27 (2020).
Lenis, J. A., Bejarano, G., Rico, P., Ribelles, J. L. G., Bolívar, F. J. Development of multilayer Hydroxyapatite – Ag/TiN-Ti coatings deposited by radio frequency magnetron sputtering with potential application in the biomedical field. Surf Coat Tech. 377, 124856 (2019).
Wang, M., Chen, Y., Gao, B., Lei, H. Electrochromic properties of nanostructured WO3 thin films deposited by glancing-angle magnetron sputtering. Adv Electron Mater. 5 (5), 1-7 (2019).

Play Video

PDF

DOI

DOWNLOAD MATERIALS LIST

Cite This Article

Ahmad Musri, N., Putthisigamany, Y., Chelvanathan, P., Ahmad Ludin, N., Md Yatim, N., Syafiq, U. Fabrication of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thermoelectric Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Technique. J. Vis. Exp. (207), e66248, doi:10.3791/66248 (2024).