Tillverkning av Silica Ultrahöga Microresonators kvalitet Factor

Vi beskriver användningen av en koldioxid laser reflow teknik för att tillverka kisel resonanta kaviteter, inklusive fristående mikrosfärer och on-chip microtoroids. Den reflow metod tar bort ytdefekter, så lång fotonen livslängd inom båda enheterna. De resulterande enheterna har Ultra High Quality faktorer, vilket gör tillämpningar som sträcker sig från telekommunikation till biodetection.