In Depth Analyses of LEDs by a Combination of X-ray Computed Tomography (CT) and Light Microscopy (LM) Correlated with Scanning Electron Microscopy (SEM)
En arbeidsflyt for omfattende mikro karakterisering av aktive optiske enheter er skissert. Den inneholder strukturelle så vel som funksjonelle undersøkelser ved hjelp av CT, LM og SEM. Metoden er demonstrert for en hvit LED som kan fortsatt være i drift under karakterisering.