Rivista
/
Chimica
/
Epitaxial Vekst av Perovskite strontium titanate på Germanium via Atomic Layer Nedfall
JoVE Journal
Chimica
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo.  Accedi o inizia la tua prova gratuita.
JoVE Journal Chimica
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

Epitaxial Vekst av Perovskite strontium titanate på Germanium via Atomic Layer Nedfall

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Capitoli

  • 00:05Titolo
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

Traduzione automatica

Traduzione automatica

Dette arbeidet detaljer prosedyrene for vekst og karakterisering av krystallinsk SrTiO tre direkte på germanium underlag ved atom lag deponering. Fremgangsmåten viser evnen til en all-kjemisk vekst metode for å integrere oksyder monolittisk på halvledere for metall-oksyd-halvlederkomponenter.

Tags

Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

AGGIUNGI ALLA PLAYLIST

Usage Statistics

Video correlati

Atomically Definerte Maler for epitaksiale Vekst av Complex Oxide Thin Films

Syntese og reaksjon Kjemi til nanosize Monosodium titanate

Lag-på-lag Syntese og overføring av Frittstående Conjugated mikroporøse Polymer Nanomembranes

Forbedret hetero Kvalitet i Cu<sub> 2</sub> O-baserte solceller gjennom optimalisering av Atmosfærisk trykk Spatial Atomic Layer Deponert<br /> Zn<sub> 1-x</sub> Mg<sub> x</sub> O

Utarbeidelse av macroporous epitaxial Quartz Spillefilmer på Silicon ved kjemisk løsning Nedfall

Påvirkning av Hybrid perovskitt fabrikasjon metoder på filmdannelse, Elektronisk struktur og Solar Cell Ytelse

Reaktiv damp deponering av konjugert Polymer filmer på vilkårlig underlag

Deponering av porøse Sorbents på stoff støtter

Solvothermal syntese av MIL-96 og UiO-66-NH2 på Atomic lag avsatt metalloksid belegg på Fiber Mats

Syntese av underlaget-bundet Au Nanowires Via en aktiv overflate vekst mekanisme

Read Article