/
/
Design og karakterisering metode til effektiv Wide Range afstemmelige MEMS filtre
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo. Accedi o inizia la tua prova gratuita.
Capitoli
- 00:00Titolo
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Risultati
- 14:07Conclusion
En protokol til en fast-fast beam design ved hjælp af en laser Doppler vibrometer (LDV), herunder måling af frekvens tuning, ændring af tuning kapacitet, og undgåelse af enhed fejl og stiction, præsenteres. Overlegenhed af metoden LDV over network analyzer er påvist på grund af dets højere tilstand kapacitet.
