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Capitoli
- 00:00Titolo
- 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
- 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
- 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
- 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
- 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
- 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
- 11:01Avoiding Device Failures
- 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
- 12:10Boosting The Tuning Capability
- 13:16Risultati
- 14:07Conclusion
एक निश्चित-फिक्स्ड बीम डिजाइन एक लेज़र डॉपलर vibrometer (LDV), आवृत्ति ट्यूनिंग की माप, ट्यूनिंग क्षमता के संशोधन, और डिवाइस विफलता और stiction के परिहार सहित, का उपयोग कर के लिए एक प्रोटोकॉल प्रस्तुत किया है । नेटवर्क विश्लेषक पर LDV विधि की श्रेष्ठता अपने उच्च मोड क्षमता के कारण प्रदर्शित किया जाता है ।
