Rivista
/
/
Projeto e metodologia de caracterização para filtros de MEMS sintonizável eficiente gama
JoVE Journal
Ingegneria
Author Produced
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo.  Accedi o inizia la tua prova gratuita.
JoVE Journal Ingegneria
Design and Characterization Methodology for Efficient Wide Range Tunable MEMS Filters
DOI:

15:25 min

February 04, 2018

Capitoli

  • 00:00Titolo
  • 02:51Selecting and Designing Optimum Structure
  • 03:31Modeling and Fabrication on CMOS
  • 05:39Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters
  • 06:27Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup
  • 09:19Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV
  • 10:32Device Testing: Higher Mode Measurement
  • 11:01Avoiding Device Failures
  • 11:45Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning
  • 12:10Boosting The Tuning Capability
  • 13:16Risultati
  • 14:07Conclusion

Summary

Traduzione automatica

Um protocolo para um projeto de feixe fixo-fixo usando um vibrômetro laser Doppler (LDV), incluindo a medição da frequência de sintonia, modificação do ajuste de capacidade e evitar a falha do dispositivo e stiction, é apresentado. A superioridade do método sobre o analisador de rede LDV é demonstrada devido à sua capacidade de modo mais elevada.

Video correlati

Read Article