/
/
Fremstilling af nanohøjdekanaler med Surface Acoustic Wave-aktivering via lithiumniobat til akustisk nanofluidics
A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.
Chapters
- 00:05Introduction
- 00:54Nano-height Channel Mask Preparation
- 01:53Nano-height Channel Fabrication
- 02:49Room Temperature Plasma-activated Bonding
- 04:56Experimental Setup and Testing
- 05:54Results: Representative Fluid Capillary Filling and Surface Acoustic Wave (Saw)-Induced Fluid Draining
- 06:45Conclusion
Vi demonstrerer fabrikation af nanohøjdekanaler med integration af akustiske bølgeaktiveringsanordninger på overfladen, når lithiumniobate for akustisk nanofluidics via liftoff fotolitografi, nanodybdereaktiv ionætsning og plasma ved stuetemperatur overfladeaktiveret flerlagsbinding af enkeltkrystallithiumniobat, en proces, der ligeledes er nyttig til limning af lithiumniobat til oxider.
