Rivista
/
Chimica
/
Effekten av anodisering parametrar på aluminiumoxid dielektriska lagret av thin-film transistorer
JoVE Journal
Chimica
Author Produced
È necessario avere un abbonamento a JoVE per visualizzare questo.  Accedi o inizia la tua prova gratuita.
JoVE Journal Chimica
The Effect of Anodization Parameters on the Aluminum Oxide Dielectric Layer of Thin-Film Transistors
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

Effekten av anodisering parametrar på aluminiumoxid dielektriska lagret av thin-film transistorer

DOI:
10.3791/60798-v

•

12:32 min

•

May 24, 2020

•

, , , ,
1School of Technology and Sciences,São Paulo State University – UNESP, 2Scholl of Electronic Engineering,Bangor University, 3Institute of Geosciences and Exact Sciences,São Paulo State University – UNESP

Capitoli

  • 00:00Introduction
  • 02:48Preparation of the Electrolytic Solution
  • 03:55Substrate Cleaning
  • 05:24Al Gate Electrode Evaporation
  • 06:31Anodization of the Al Layer
  • 07:41ZnO Active Layer Deposition
  • 08:38Drain and Source Electrodes Deposition
  • 09:36TFT Electrical Characterization
  • 10:09Risultati
  • 11:22Conclusion

Summary

Traduzione automatica

Traduzione automatica

Anodisering parametrar för tillväxt av aluminium-oxid dielektriska skiktet av zink-oxid tunnfilm transistorer (TFTs) varieras för att bestämma effekterna på den elektriska parametern svar. Analys av varians (ANOVA) tillämpas på en Plackett-Burman-design av experiment (DOE) för att bestämma de tillverkningsförhållanden som resulterar i optimerad enhetsprestanda.

Tags

Aluminum OxideAnodizationThin-film TransistorsDielectric LayerElectrolytic SolutionSubstrate CleaningAluminum Electrode DepositionAnodization ProcessElectrical CharacterizationPlackett-Burman Design Of Experiments

Article

Embed

AGGIUNGI ALLA PLAYLIST

Usage Statistics

Video correlati

check_url/it/60798?article_type=v

Skikt för skikt syntes och överföring av fristående Conjugated mikroporös polymer Nanomembranes
check_url/it/60798?article_type=v

Foto Oxidativ Tillväxt av iridiumoxid Nanopartiklar på CdSe @ CdS nanostavar
check_url/it/60798?article_type=v

Epitaxiell tillväxt av Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition
check_url/it/60798?article_type=v

Effekten av gränsytisk kemisk bindning i TiO<sub> 2</sub> SiO<sub> 2</sub> Kompositioner på deras fotokatalytiska NOx-överföringsprestanda
check_url/it/60798?article_type=v

Kemisk syntes av porösa Barium Titanate tunn Film och termisk stabilisering av ferroelektrisk fas av porositet-inducerad stam
check_url/it/60798?article_type=v

Effekten av laddning och urladdning litium järn fosfat-grafit celler vid olika temperaturer på nedbrytning
check_url/it/60798?article_type=v

Effekten av ultraviolett strålning på kemiska bad nedfall av Bis(thiourea) kadmium klorid kristaller och den efterföljande CdS införskaffa
check_url/it/60798?article_type=v

Solvothermal syntes av MIL-96 och UiO-66-NH2 på atomlager deponeras metalloxid beläggningar på Fiber mattor
check_url/it/60798?article_type=v

Beredning av Polyoxometalate-baserade foto-lyhörd membran för foto-aktivering av Manganese Oxide katalysatorer
check_url/it/60798?article_type=v

Elektrokemisk grov bearbetning av thin-film Platinum makro och Mikroelektroder

Read Article