Rivista
/
Chimica
/
3D-реконструкция профиля глубины сегрегированных примесей с помощью масс-спектрометрии вторичных ионов
JoVE Journal
Chimica
This content is Free Access.
JoVE Journal Chimica
3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry
Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

3D-реконструкция профиля глубины сегрегированных примесей с помощью масс-спектрометрии вторичных ионов

DOI:
10.3791/61065-v

•

07:10 min

•

April 29, 2020

•

, , , ,
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

Capitoli

  • 00:00Introduction
  • 00:57Defect Selective Etching
  • 02:09Scanning Electron Microscopy
  • 02:50Secondary Ion Mass Spectrometry
  • 05:34Results: Oxygen Counts in a Cuboid
  • 06:29Conclusion

Summary

Traduzione automatica

Traduzione automatica

Представленный метод описывает способы выявления и решения артефактов измерения, связанных с масс-спектрометрией вторичных ионов, а также получения реалистичных 3D-распределений примесей/легирующих добавок в твердотельных материалах.

Tags

3D Depth ProfileSegregated ImpuritiesSecondary Ion Mass SpectrometrySemiconductor TechnologyStructural DefectsEutectic MixtureDefect-selective EtchingGallium NitrideScanning Electron MicroscopySIMS Calibration

Article

Embed

AGGIUNGI ALLA PLAYLIST

Usage Statistics

Video correlati

Анализируя Динамика белков с использованием водорода валютный масс-спектрометрии

Анализируя фотоокисления 2-пропанол уровня концентраций воздуха с помощью поля асимметричной ионной подвижности спектрометрии

HS-мно Assay для количественного определения белков клетки хозяина в области биофармацевтики белка по жидкостной хроматографии ионной подвижности QTOF масс-спектрометрии

Анализ реального времени дыхание с помощью вторичных Nanoelectrospray ионизации в сочетании с масс-спектрометрии высокого разрешения

Синтез и анализ масс-спектрометрии Oligo-peptoids

Метод подготовки эффективного образца для повышения углеводов Ион сигналов в Matrix с помощью лазерной десорбции/ионизации масс-спектрометрии

Крупномасштабные протеомики сверху вниз с использованием зоне капиллярного электрофореза тандем масс-спектрометрия

Высок объём и всеобъемлющей наркотиков наблюдения с помощью масс-спектрометрии многосегментные инъекций капиллярного электрофореза

Коррозионная обработка изображений в интерфейсе Metal-краски с использованием вторичной спектрометрии "время полета"

Ионная мобильность-массовая спектрометрия Методы для определения структуры и механизмов распознавания ионов металла и Redox деятельности металлических связывая олигопептиды

Read Article