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Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024
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Summary

Il manoscritto descrive un protocollo per lo sputtering magnetron a radiofrequenza di film sottili termoelettrici Bi2Te3 e Sb2Te3 su substrati di vetro, che rappresenta un metodo di deposizione affidabile che fornisce una vasta gamma di applicazioni con il potenziale per un ulteriore sviluppo.