Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

May 17, 2024

Tillverkning av Bi₂Te₃ och Sb₂Te₃ termoelektriska tunna filmer med hjälp av radiofrekvensmagnetronsputtringsteknik

00:45 min

•

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates

03:39 min

•

Nurfarhana Ahmad Musri, Yoganash Putthisigamany, Puvaneswaran Chelvanathan, Norasikin Ahmad Ludin, Nadhrah Md Yatim, Ubaidah Syafiq

¹Solar Energy Research Institute (SERI),Universiti Kebangsaan Malaysia, ²Faculty of Science and Technology,Universiti Sains Islam Malaysia

Summary

Manuskriptet beskriver ett protokoll för radiofrekvent magnetronförstoftning av Bi₂Te₃ och Sb₂Te₃ termoelektriska tunna filmer på glassubstrat, vilket representerar en tillförlitlig deponeringsmetod som ger ett brett spektrum av applikationer potential för vidare utveckling.

Deposition of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Tillverkning av Bi2Te3 och Sb2Te3 termoelektriska tunna filmer med hjälp av radiofrekvensmagnetronsputtringsteknik

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi2Te3 and Sb2Te3 Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates

Summary

Article

Deposition of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thin Films on Glass Substrates via RF Sputtering

Tillverkning av Bi₂Te₃ och Sb₂Te₃ termoelektriska tunna filmer med hjälp av radiofrekvensmagnetronsputtringsteknik

Radio Frequency Magnetron Sputtering of Bi₂Te₃ and Sb₂Te₃ Thermoelectric Thin Films on Glass Substrates