1-D光子晶体空穴对纳米纤维使用飞秒激光诱导消融制造
Summary
我们提出了关于使用飞秒激光诱导亚波长消融直径石英光纤（光学纳米）制造1-D光子晶体腔的协议。
Abstract
我们提出的亚波长直径锥形光纤，光学纳米纤维，采用飞秒激光诱导消融制造1-D光子晶体（PHC）腔的协议。我们发现，成千上万的周期性纳米陨石坑是由只有一个单一的飞秒激光脉冲照射在光学纳米纤维制造。对于一个典型的样品，用了一段350纳米和直径为50逐渐变化的周期性纳米弹坑 – 250纳米以上1mm的长度上制造纳米纤维具有约450直径 – 550纳米。这样的纳米加工的一个关键方面是，纳米纤维本身作为一个柱面透镜和集中在它的影子表面飞秒激光束。此外，单杆制造使其不受机械不稳定性和其他制造缺陷。上的纳米纤维这样的周期性纳米火山口，作为一维光子晶体和使强和宽带反射，同时保持了阻带的高传输。我们还提出，以控制纳米阵列火山口的轮廓制作的纳米纤维变迹和缺陷引起的光子晶体腔的方法。该字段的强约束，横向和纵向，在基于纳米纤维，光子晶体空穴和高效整合的光纤网络，可以打开纳米光子应用和量子信息科学的新的可能性。
Introduction
在纳米光子器件的光强约束光学科学开辟了新的领域。现代纳米加工技术已经在激射1，传感2和光学开关应用3启用1-D和2-D光子晶体（PHC）空腔为新的前景的制造。此外，在这些光子晶体腔强大的光与物质相互作用的量子信息科学4开辟了新的途径。除了光子晶体腔，等离子nanocavities也表现出广阔的发展前景5，6，7。然而，接口这种空腔基于光纤的通信网络仍然是一个挑战。
近年来，锥形单模光纤用亚波长直径，称为光学纳米纤维，已成为一个有前途的纳米光子器件。由于强纳米纤维引导字段，并与周围介质相互作用的能力的横向限制，纳米纤维被广泛地适于并研究了各种纳米光子应用8。除此之外，它也坚决查处和光量子调控实施和物质9。从量子发射器等，单个/少量激光冷却原子和单一量子点，进入纳米纤维引导模式发射的有效耦合已经研究并证实10，11，12，13，14，15。上的纳米纤维的光-物质相互作用可通过在纳米纤维16，17实施光子晶体腔结构可显著改善。
对于s的关键优势UCH的系统是纤维在线技术，可容易地集成到通信网络。通过锥形纳米纤维的99.95％的透光率已经证实18。然而，纳米纤维传输是非常容易受到灰尘和污染。因此，光子晶体结构上采用传统的纳米加工技术，纳米纤维制造是不是卓有成效。虽然使用聚焦离子束（FIB）铣削的纳米纤维空腔制造已证实19，20，该光学质量和再现性不高。
在这个视频协议，我们提出了一个最近展示了21，22的技术来制造使用飞秒激光烧蚀纳米光子晶体腔。捏造是通过在纳米纤维和辐照的创建飞秒激光器的双光束干涉图案进行iating单一飞秒激光脉冲。纳米纤维的透镜效应起着这种技术的可行性的重要作用，纳米纤维的阴影表面上创建烧蚀弹坑。对于一个典型的样品，用了一段350纳米和直径为50逐渐变化的周期性纳米弹坑 – 250纳米以上1mm的长度上制造纳米纤维具有约450直径 – 550纳米。上的纳米纤维这样的周期性纳米火山口，作为一维光子晶体。我们还提出，以控制纳米阵列火山口的轮廓制作的纳米纤维变迹和缺陷引起的光子晶体腔的方法。
这种纳米加工的一个关键方面是所有光学加工，以使高光学质量可以维持。此外，在制造由只是一个单一的飞秒激光脉冲的照射完成，使得技术不受机械不稳定性和其它制造缺陷。这也使得内部生产光子晶体纳米纤维空腔使污染的可能性最小化。该协议旨在帮助他人实施并适应这种新型纳米加工技术。
图1a示出了制造安装的示意图。的制造安装和对准过程的细节将在21 所讨论的，22。飞秒激光具有400nm的中心波长和120飞秒脉冲宽度为入射在相位掩模。相位掩模分割飞秒激光束在0和±1的订单。光束块用于阻断0阶光束。折叠反射镜对称地重组的±1订单在纳米纤维的位置，以创建一个干涉图案。相位掩模的间距为700纳米，因此干涉图案具有350nm的间距（ΛG）。圆柱透镜聚焦沿纳米纤维的飞秒激光束。穿过光束尺寸（Y轴）和沿（Z轴）的纳米纤维为60微米和5.6毫米。锥形光纤被安装在用于拉伸纤维装有压电致动器（PZT）的保持器。与玻璃板的顶盖用于保护从灰尘纳米纤维。与锥形纤维支架固定配备了翻译（XYZ）和旋转（θ）级的制造板凳上。的θ-阶段允许在YZ面内的纳米纤维样品的旋转。 X台还可以控制沿XY-和XZ平面的倾斜角。 CCD照相机放置在距离纳米纤维20厘米的距离，并在45°在XY平面内以监测纳米纤维位置的角度。所有的实验都配备有HEPA（高效率微粒式止）过滤器，以实现无尘条件干净亭内部进行。无尘条件是维持纳米纤维的传输是必不可少的。
图1B显示了光学测量的原理图。光纤耦合光源到锥形光纤和测量使用高分辨率频谱分析仪的透射和反射的光的光谱 – ：在制造过程中，光学性质简要通过启动一个宽带（900纳米700波长范围）监测。可调谐连续激光源来妥善解决腔模式和测量绝对腔传输。
我们提出的协议制造和表征。该协议部分在三个小节，纳米纤维的制备，飞秒激光制备与表征所制作的样品分。
Protocol
Representative Results
Discussion
纳米纤维的透镜效应起着在制造技术中起重要作用，从而产生纳米纤维的阴影表面上的纳米环形山（ 图2中示出）。纳米纤维的透镜效应也使制造工艺健壮在横向方向（Y轴）的任何机械不稳定性。而且，由于单发照射，沿着其它轴的不稳定性不作为照射时间仅为120飞秒（ 即脉冲宽度）影响的制造。其结果是，具有良好定义的周期性的周期性纳米结构被制造在几千周期的，不采?…
Disclosures
The authors have nothing to disclose.
Acknowledgements
This work was supported by the Japan Science and Technology Agency (JST) through the Strategic Innovation Program. KPN acknowledges support from a grant-in-aid for scientific research (Grant no. 15H05462) from the Japan Society for the Promotion of Science (JSPS).
Materials
| Femtosecond Laser | Coherent Inc. | Libra HE | |
| Phase Mask | Ibsen Photonics | Custom Made | |
| Optial Nanofiber Manufacturing Equipment | Ishihara Sangyo | ONME | |
| ADC Card | PicoTech | ADC-24 | |
| Single mode fiber | Fujikura | FutureGuide-SM | |
| Broadband source | NKT Photonics | SuperK EXTREME | |
| CW Tunable Laser | Coherent Inc. | MBR-110 | |
| Spectrum analyser (Transmission spectrum) | Thermo Fisher Scientific | Nicolet 8700 | |
| Spectrum analyser (Reflection spectrum) | Ocean Optics | QE65000 | |
| CCD Camera | Thorlabs | DCC1545M | |
| Power Meter | Thorlabs | D3MM | |
| Pt-Coater | Vacuum Device Inc. | MSP-1S | |
| Scanning Electron Microscope | Keyence | VE-9800 | |
| UV Curable Epoxy | NTT-AT | AT8105 | |
| Photodiode | ThorLabs | PDA 36A-EC | |
| Clean room wipe | TExWipe | TX-404 | |
| Fiber coating stripper | NTT-AT | Fiber nippers 250 μm | |
| Cover glass | Matsunami Glass IND,LTD | NEO micro cover glass 0.12-0.17 mm | |
| PZT | NOLIAC | NAC 2011-H20 | |
| Cylindrical lens stage | NewPort | M-481-A | |
| Y,Z stages | Chuo Precision Industrial Co., LTD. | LD-149-C7 | |
| Rotation stage | SIGMA KOKI | KSPB-1026MH | |
| Z-stage(1), Z-stage(2) | NewPort | M-460P | |
| Fiber coating stripper | NTT-AT | Fiber nippers 250 μm |
References
- Painter, O. J., et al. Two-Dimensional Photonic Band-Gap Defect Mode Laser. Science. 284, 1819-1821 (1999).
- Loncar, M., Scherer, A., Qiu, Y. Photonic crystal laser sources for chemical detection. Appl. Phys. Lett. 82, 4648 (2003).
- Tanabe, T., Notomi, M., Mitsugi, S., Shinya, A., Kuramochi, E. All-optical switches on a silicon chip realized using photonic crystal nanocavities. Appl. Phys. Lett. 87, 151112 (2005).
- Yoshie, T., et al. Vacuum Rabi splitting with a single quantum dot in a photonic crystal nanocavity. Nature. 432, 200-203 (2004).
- Akimov, A. V., et al. Generation of single optical plasmons in metallic nanowires coupled to quantum dots. Nature. 450, 402-406 (2007).
- Noginov, M. A., et al. Demonstration of a spaser-based nanolaser. Nature. 460, 1110-1112 (2009).
- Zhang, X. Y., Zhang, T., Hu, A., Song, Y. J., Duley, W. W. Controllable plasmonic antennas with ultra narrow bandwidth based on silver nano-flags. Appl. Phys. Lett. 101, 153118 (2012).
- Tong, L., Zi, F., Guo, X., Lou, J. Optical microfibers and nanofibers: A tutorial. Opt. Comm. 285, 4641-4647 (2012).
- Morrissey, M. J., et al. Spectroscopy, manipulation and trapping of neutral atoms, molecules, and other particles using optical nanofibers: A review. Sensors. 13, 10449-10481 (2013).
- Kien, F. L., Dutta Gupta, S., Balykin, V. I., Hakuta, K. Spontaneous emission of a cesium atom near a nanofiber: Efficient coupling of light to guided modes. Phys. Rev. A. 72, 032509 (2005).
- Nayak, K. P., Melentiev, P. N., Morinaga, M., Kien, F. L., Balykin, V. I., Hakuta, K. Optical nanofiber as an efficient tool for manipulating and probing atomic fluorescence. Opt. Express. 15, 5431-5438 (2007).
- Nayak, K. P., Hakuta, K. Single atoms on an optical nanofiber. New J. Phys. 10, 053003 (2008).
- Nayak, K. P., Kien, F. L., Morinaga, M., Hakuta, K. Antibunching and bunching of photons in resonance fluorescence from a few atoms into guided modes of an optical nanofiber. Phys. Rev. A. 79, 021801 (2009).
- Yalla, R., Nayak, K. P., Hakuta, K. Fluorescence photon measurements from single quantum dots on an optical nanofiber. Opt. Express. 20, 2932-2941 (2012).
- Yalla, R., Kien, F. L., Morinaga, M., Hakuta, K. Efficient Channeling of Fluorescence Photons from Single Quantum Dots into Guided Modes of Optical Nanofiber. Phys. Rev. Lett. 109, 063602 (2012).
- Kien, F. L., Hakuta, K. Cavity-enhanced channeling of emission from an atom into a nanofiber. Phys. Rev. A. 80, 053826 (2009).
- Kato, S., Aoki, T. Strong coupling between a trapped single atom and an all-fiber cavity. Phys. Rev. Lett. 115, 093603 (2015).
- Hoffman, J. E., et al. Ultrahigh transmission optical nanofibers. AIP Advances. 4, 067124 (2014).
- Nayak, K. P., et al. Cavity formation on an optical nanofiber using focused ion beam milling technique. Opt. Express. 19, 14040-14050 (2011).
- Kien, F. L., Nayak, K. P., Hakuta, K. Nanofibers with Bragg gratings from equidistant holes. J. Modern Opt. 59, 274-286 (2012).
- Nayak, K. P., Hakuta, K. Photonic crystal formation on optical nanofibers using femtosecond laser ablation technique. Opt. Express. 21, 2480-2490 (2013).
- Nayak, K. P., Zhang, P., Hakuta, K. Optical nanofiber-based photonic crystal cavity. Opt. Lett. 39, 232-235 (2014).
- Becker, M., et al. Fiber Bragg grating inscription combining DUV sub-picosecond laser pulses and two-beam interferometry. Opt. Express. 16, 19169-19178 (2008).
