Groei van goud dendritische Nanoforests op Titanium Nitride-gecoat silicium substraten
Summary
Deze studie presenteert een haalbare procedure voor het synthetiseren van goud dendritische nanoforests op titaniumnitride/silicium substraten. De dikte van goud dendritische nanoforests stijgt lineair binnen 15 min van een synthese reactie.
Abstract
In deze studie, een High-Power impuls magnetron sputteren systeem wordt gebruikt om de vacht van een platte en stevige titaniumnitride (TiN) film op silicium (SI) wafers, en een fluoride-bijgestaan galvanische vervanging reactie (FAGRR) is aangewend voor de snelle en gemakkelijke afzetting van goud dendritische nanoforests (au DNFs) op de TiN/si substraten. Scanning elektronenmicroscopie (SEM) beelden en energie-dispersieve X-Ray spectroscopie patronen van TiN/si en au DNFs/TiN/si monsters valideren dat het syntheseproces nauwkeurig wordt gecontroleerd. Onder de reactie omstandigheden in deze studie, de dikte van de au DNFs stijgt lineair tot 5,10 ± 0,20 µm binnen 15 minuten van de reactie. Daarom is de werkwijze synthese procedure is een eenvoudige en snelle aanpak voor de voorbereiding van au DNFs/TiN/si composieten.
Introduction
Goud nanodeeltjes hebben karakteristieke optische eigenschappen en gelokaliseerde oppervlakte Plasmon resonanties (LSPRs), afhankelijk van de grootte en de vorm van de nanodeeltjes1,2,3,4. Bovendien kan goud nanodeeltjes aanzienlijk verbeteren plasmonic fotokatalytische reacties5. Dendritische nanoforests gestapeld met behulp van goud nanodeeltjes hebben aanzienlijke aandacht gekregen vanwege hun opmerkelijke specifieke oppervlakken en robuuste LSPR Enhancement6,7,8,9 ,10,11,12,13.
TiN is een zeer hard keramisch materiaal en heeft opmerkelijke thermische, chemische en mechanische stabiliteit. Tin heeft onderscheidende optische eigenschappen en kan worden gebruikt voor plasmonic toepassingen met zichtbare-to-near-infraroodlicht14,15. Onderzoek heeft aangetoond dat TiN kan elektromagnetische veld verbeteringen te produceren, vergelijkbaar met au nanostructures16. De afzetting van koper17 of zilver18,19,20 op tin substraten voor toepassingen is aangetoond. Er zijn echter weinig studies uitgevoerd op au/TiN composietmaterialen voor toepassingen. Shiao et al. hebben onlangs aangetoond potentiële toepassingen van au DNFs/TiN composieten voor fotoelektrochemische cellen21 en chemische degradatie22.
Au kan worden gesynthetiseerd op een TiN substraat met behulp van een FAGRR23. De depositie van au DNFs op TiN is cruciaal in de uitvoering van toepassingen. Deze studie onderzoekt de groei van au DNFs op een TiN-Coated si substraat.
Protocol
Representative Results
Discussion
In deze studie, au DNFs met meerdere Branch maten werden versierd op het oppervlak van TiN/si met behulp van FAGRR. De afzetting van de au DNFs zou direct kunnen worden geïdentificeerd door een significante verandering in kleur. De dikte van de au DNFs op TiN/si steeg tot 5,10 ± 0,20 µm binnen 15 min, en deze verhoging van de dikte kan worden uitgedrukt met behulp van de volgende lineaire vergelijking: y = 0,296t + 0,649, waar de tijd varieerde van 1 tot 15 min.
In FAGRR, …
Disclosures
The authors have nothing to disclose.
Acknowledgements
Dit werk werd gesteund door het ministerie van wetenschap en technologie, Taiwan, onder contract aantallen het meest 105-2221-E-492-003-MY2 en het meeste 107-2622-E-239-002-CC3.
Materials
| Acetone | Dinhaw Enterprise Co. Ltd.,Taipei, Taiwan | ||
| Isopropanol | Echo Chemical Co. Ltd., Miaoli, Taiwan | TG-078-000000-75NL | |
| Buffered Oxide Etch | Uni-onward Corp., Hsinchu, Taiwan | UR-BOE-1EA | |
| Chloroauric Acid | Alfa Aesar., Heysham, United Kingdom | 36400.03 | |
| N-Type Silicon Wafer | Summit-Tech Company, Hsinchu, Taiwan | ||
| High-Power Impulse Magnetron Sputtering System (HiPIMS) | Melec GmbH, Germany | SPIK2000A | |
| Scanning Electron Microscope (SEM) | JEOL, Japan | JSM-7800F | |
| Ion Sputter Coater | Hitachi, Japan | E-1030 | |
| X-Ray Diffractometer (XRD) | PANalytical, The Netherlands | X'Pert PRO MRD |
References
- Nehl, C. L., Hafner, J. H. Shape-dependent plasmon resonances of gold nanoparticles. Journal of Materials Chemistry. 18 (21), 2415-2419 (2008).
- Auguié, B., Barnes, W. L. Collective resonances in gold nanoparticle arrays. Physical Review Letters. 101 (14), 143902 (2008).
- Sakai, N., Fujiwara, Y., Arai, M., Yu, K., Tatsuma, T. Electrodeposition of gold nanoparticles on ITO: Control of morphology and plasmon resonance-based absorption and scattering. Journal of Electroanalytical Chemistry. 628 (1-2), 7-15 (2009).
- Shiao, M. H., Lai, C. P., Liao, B. H., Lin, Y. S. Effect of photoillumination on gold-nanoparticle-assisted chemical etching of silicon. Journal of Nanomaterials. 2018, 5479605 (2018).
- Ayati, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Photocatalytic+degradation+of+nitrobenzene+by+gold+nanoparticles+decorated+polyoxometalate+immobilized+TiO2+nanotubes.”>Photocatalytic degradation of nitrobenzene by gold nanoparticles decorated polyoxometalate immobilized TiO2 nanotubes. Separation and Purification Technology. 171, 62-68 (2016).
- Huang, T., Meng, F., Qi, L. Controlled synthesis of dendritic gold nanostructures assisted by supramolecular complexes of surfactant with cyclodextrin. Langmuir. 26 (10), 7582-7589 (2009).
- Lahiri, A., Wen, R., Kuimalee, S., Kobayashi, S. I., Park, H. One-step growth of needle and dendritic gold nanostructures on silicon for surface enhanced Raman scattering. CrystEngComm. 14 (4), 1241-1246 (2012).
- Lahiri, A., Wen, R., Kobayashi, S. I., Wang, P., Fang, Y. Unique and unusual pattern demonstrating the crystal growth through bubble formation. Crystal Growth & Design. 12 (3), 1666-1670 (2012).
- Lahiri, A., et al. Photo-assisted control of gold and silver nanostructures on silicon and its SERRS effect. Journal of Physics D: Applied Physics. 46 (27), 275303 (2013).
- Lv, Z. Y., et al. Facile and controlled electrochemical route to three-dimensional hierarchical dendritic gold nanostructures. Electrochimica Acta. 109, 136-144 (2013).
- Dutta, S., et al. Mesoporous gold and palladium nanoleaves from liquid–liquid interface: enhanced catalytic activity of the palladium analogue toward hydrazine-assisted room-temperature 4-nitrophenol reduction. ACS Applied Materials & Interfaces. 6 (12), 9134-9143 (2014).
- Lin, C. T., et al. Rapid fabrication of three-dimensional gold dendritic nanoforests for visible light-enhanced methanol oxidation. Electrochimica Acta. 192, 15-21 (2016).
- Lahiri, A., Kobayashi, S. I. Electroless deposition of gold on silicon and its potential applications. Surface Engineering. 32 (5), 321-337 (2016).
- White, N., et al. Surface/interface analysis and optical properties of RF sputter-deposited nanocrystalline titanium nitride thin films. Applied Surface Science. 292, 74-85 (2014).
- Zhao, J., et al. Surface enhanced Raman scattering substrates based on titanium nitride nanorods. Optical Materials. 47, 219-224 (2015).
- Lorite, I., Serrano, A., Schwartzberg, A., Bueno, J., Costa-Krämer, J. L. Surface enhanced Raman spectroscopy by titanium nitride non-continuous thin films. Thin Solid Films. 531, 144-146 (2013).
- O’Kelly, J. P., et al. Room temperature electroless plating copper seed layer process for damascene interlevel metal structures. Microelectronic Engineering. 50 (1), 473-479 (2000).
- Cesiulis, H., Ziomek-Moroz, M. Electrocrystallization and electrodeposition of silver on titanium nitride. Journal of Applied Electrochemistry. 30 (11), 1261-1268 (2000).
- Wu, Y., Chen, W. C., Fong, H. P., Wan, C. C., Wang, Y. Y. Displacement reactions between metal ions and nitride barrier layer/silicon substrate. Journal of the Electrochemical Society. 149 (5), G309-G317 (2002).
- Koo, H. C., Ahn, E. J., Kim, J. J. Direct-electroplating of Ag on pretreated TiN surfaces. Journal of the Electrochemical Society. 155 (1), D10-D13 (2008).
- Shiao, M. H., et al. Novel gold dendritic nanoflowers deposited on titanium nitride for photoelectrochemical cells. Journal of Solid State Electrochemistry. 22 (10), 3077-3084 (2018).
- Shiao, M. H., Lin, C. T., Zeng, J. J., Lin, Y. S. Novel gold dendritic nanoforests combined with titanium nitride for visible-light-enhanced chemical degradation. Nanomaterials. 8 (5), 282 (2018).
- Carraro, C., Maboudian, R., Magagnin, L. Metallization and nanostructuring of semiconductor surfaces by galvanic displacement processes. Surface Science Reports. 62 (12), 499-525 (2007).
