이 논문은 표준 전자 후방 산란 회절 장치를 구비 한 주 사형 전자 현미경을 이용하여 초 미세 그레인과 나노 물질의 미세 구조를 특성화하는 상세한 방법을 제공한다. 금속 합금 및 정제 미세 제시 광물은 가능한 애플리케이션의 다양성을 보여주는,이 기술을 사용하여 분석한다.