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챕터
요약
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天然の生成物であるヒトの毛髪の熱分解に基づいて、長くて中空のガラス状炭素マイクロファイバーが製造された。カーボンマイクロエレクトロメカニカルおよびカーボンナノエレクトロメカニカルシステム、またはC-MEMSおよびC-NEMSの2つの製造工程は、(i)炭素リッチなポリマー前駆体のフォトリソグラフィおよび(ii)パターン化ポリマー前駆体の熱分解である。