Waiting
로그인 처리 중...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
JoVE Journal
Engineering

JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다. 전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.

3D 탄소 미세 전자 기계 시스템 (C-MEMS) 제작
 
Click here for the English version

3D 탄소 미세 전자 기계 시스템 (C-MEMS) 제작

Article DOI: 10.3791/55649-v 08:01 min June 17th, 2017
June 17th, 2017

챕터

요약

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

길고 중공 유리질 탄소 미세 섬유는 천연물 인 인간의 머리카락을 열분해하여 제조되었습니다. 탄소 미세 전자 기계 및 탄소 나노 전자 기계 시스템, 또는 C-MEMS 및 C-NEMS의 두 제조 단계는 (i) 탄소가 풍부한 중합체 전구체의 포토 리소그래피 및 (ii) 패턴 화 된 중합체 전구체의 열분해이다.

Tags

공학 124 호 탄소 -MEMS / NEMS 유리 탄소 제조 리소그래피 열분해 SU8 포토 레지스트 인간의 머리카락.
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter