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斜め蒸着を使用してメディアを高吸収極薄カラー フィルムの作製
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Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition
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斜め蒸着を使用してメディアを高吸収極薄カラー フィルムの作製

DOI:
10.3791/56383-v

•

06:30 min

•

August 29, 2017

•

, , ,
1School of Electrical Engineering and Computer Science,Gwangju Institute of Science and Technology, 2Department of Robotics Engineering,Daegu Gyeongbuk Institute of Science and Technology

Chapters

  • 00:05Title
  • 00:56Substrate Preparation and Oblique Angle Deposition of Germanium
  • 03:23Oblique Angle Deposition of Ge on Large Substrates
  • 04:50Results: Ultra-thin Color Films
  • 05:40Conclusion

Summary

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光学コーティングの改良された特性を持つ極薄カラー フィルムを製造する詳細な方法を提案します。電子ビーム蒸発器を用いて斜め蒸着法では、改良された色可変特性と純度をことができます。反射率測定とカラー情報の変換による Ge と Au の Si 基板上の薄膜作製を行った.

Tags

Ultra-thin Color FilmsOblique Angle DepositionPorosity ControlThin Film ColorationOptical Resonance ApplicationsNanofabricationGermanium DepositionTitanium Adhesion LayerGold Reflection Layer

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