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Fabrication de Nanostructures magnétiques sur les Membranes de nitrure de silicium pour les études de Vortex magnétique en utilisant des Techniques de microscopie de Transmission
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Fabrication of Magnetic Nanostructures on Silicon Nitride Membranes for Magnetic Vortex Studies Using Transmission Microscopy Techniques
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Fabrication de Nanostructures magnétiques sur les Membranes de nitrure de silicium pour les études de Vortex magnétique en utilisant des Techniques de microscopie de Transmission

DOI:
10.3791/57817-v

•

06:27 min

•

July 02, 2018

•

, ,
1CEITEC BUT,Brno University of Technology

Chapters

  • 00:04Title
  • 00:40Substrate Preparation, Spin Coating, and Electron-beam Lithography
  • 01:52Chemical Development and Electron Beam Evaporation
  • 03:08Lift-off
  • 03:36LTEM Imaging
  • 04:41Results: Transmission Electron Microscopy of Magnetic Nanostructures on Silicon Nitride Membranes
  • 05:45Conclusion

Summary

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Un protocole pour la fabrication de micro magnétique et nanostructures avec des configurations de spin formant des tourbillons magnétiques appropriés pour la microscopie électronique à transmission (TEM) et études de microscopie (MTXM) de rayons-x transmission magnétique est présenté.

Tags

Magnetic NanostructuresSilicon Nitride MembranesTransmission MicroscopyElectron Beam LithographyElectron Beam EvaporationPermalloy DepositionLift-off Process

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