Journal
/
공학
/
Teoretisk beregning og eksperimentel verifikation for dislokationsreduktion i germaniumepitaksiale lag med semicylindriske hulrum på silicium
JoVE 신문
공학
JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다.  전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.
JoVE 신문 공학
Theoretical Calculation and Experimental Verification for Dislocation Reduction in Germanium Epitaxial Layers with Semicylindrical Voids on Silicon

Teoretisk beregning og eksperimentel verifikation for dislokationsreduktion i germaniumepitaksiale lag med semicylindriske hulrum på silicium

DOI:
10.3791/58897-v

•

06:57 min

•

July 17, 2020

•

, , ,
1Department of Materials Engineering,The University of Tokyo, 2Department of Electrical and Electronic Information Engineering,Toyohashi University of Technology, 3Department of Materials Science and Engineering,Massachusetts Institute of Technology

Chapters

  • 00:04Introduction
  • 00:34Experimental Verification Procedure
  • 04:29Results: Reduction of Threading Dislocation Density in Germanium Epitaxial Layers with Semicylindrical Voids on Silicon
  • 06:12Conclusion

Summary

자동 번역

자동 번역

Teoretisk beregning og eksperimentel verifikation foreslås til en reduktion af gevinddislokationstæthed (TD) i germaniumepitaksiale lag med semicylindriske hulrum på silicium. Beregninger baseret på interaktionen mellem TD'er og overflade via billedkraft, TD-målinger og transmissionselektronmikroskopobservationer af TD'er præsenteres.

Tags

Dislocation ReductionGermanium Epitaxial LayersSemicylindrical VoidsSiliconThreading Dislocation DensitySelective Epitaxial GrowthBoron-doped P-siliconSilicon DioxidePhotoresistBuffered Hydrofluoric AcidGermanium Growth

Article

Embed

플레이리스트에 추가

Usage Statistics

Related Videos

check_url/kr/58897?article_type=v

Polykrystallinske silicium tynd-film solceller med plasmoniske-enhanced Light-trapping
check_url/kr/58897?article_type=v

Enkeltlags Kontakt doping af silicium overflader og nanotråde Brug organophosphorforbindelser
check_url/kr/58897?article_type=v

Selektiv Area Ændring af Silicon overfladebefugtelighed af Pulsed UV laser Bestråling i Liquid Miljø
check_url/kr/58897?article_type=v

Integration af Light fældefangst Sølv Nanostrukturer i hydrogeneret Mikrokrystallinsk silicium solceller ved Transfer Printing
check_url/kr/58897?article_type=v

Kvantificering af Hydrogen Koncentrationer i Surface og Interface-Lag og Bulk Materials gennem Dybde Profilering med kernereaktion Analysis
check_url/kr/58897?article_type=v

SSVEP-baserede Eksperimentel Procedure for Brain-robot Interaktion med menneskelignende robotter
check_url/kr/58897?article_type=v

Eksperimentelle metoder for Spin - og vinkel-løst Photoemission spektroskopi kombineret med polarisering-variabel Laser
check_url/kr/58897?article_type=v

Metoder til Ex Situ og In Situ undersøgelser af strukturelle forandringer: sagen om krystallisering af metalliske briller
check_url/kr/58897?article_type=v

Fabrikation af magnetiske nanostrukturer på Silicon Nitride membraner til magnetiske Vortex undersøgelser ved hjælp af Transmission mikroskopi-teknikker
check_url/kr/58897?article_type=v

En silicium-tippes fiberoptisk Sensing Platform med høj opløsning og en hurtig reaktionstid

Read Article