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높은 해상도와 빠른 응답 실리콘 밀고 광 감지 플랫폼

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A Silicon-tipped Fiber-optic Sensing Platform with High Resolution and Fast Response

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높은 해상도와 빠른 응답 실리콘 밀고 광 감지 플랫폼

DOI:

10.3791/59026-v

•

09:03 min

•

January 07, 2019

•

Guigen Liu*¹, Qiwen Sheng*¹, Weilin Hou, Matthew L. Reinke, Ming Han⁴

¹Department of Electrical and Computer Engineering,Michigan State University, ²Naval Research Laboratory,Stennis Space Center, ³Oak Ridge National Laboratory, ⁴Department of Electrical and Computer Engineering,University of Nebraska-Lincoln

Chapters

00:04Title
00:47Fabrication of Low-Finesse Sensors
03:18Fabrication of High-Finesse Sensors
05:17Signal Demodulation for a Low-Finesse Silicon Fiber-optic Sensing Platform (Si-FOSP)
06:12Signal Demodulation for a High-Finesse Silicon Fiber-optic Sensing Platform (Si-FOSP)
07:08Results: Silicon-tipped Fiber-optic Sensing Platform as Underwater Thermometer, Flow Sensor, and Bolometer for Plasma Physics
08:08Conclusion

Summary

자동 번역

이 작품 보고는 혁신적인 실리콘 밀고 광 감지 플랫폼 (Si-FOSP) 고해상도 및 빠른 응답의 다양 한 온도, 흐름, 방사선 등의 물리적 매개 변수 측정 합니다. 이 시 FOSP의 융해 에너지 연구 해양 연구, 기계 산업에서에서 스팬.

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Keywords: Fiber-optic Sensing Platform High Resolution Fast Response Temperature Measurement Turbulence Characterization MEMS Fabrication Silicon Pillars Optical Fiber UV Curable Glue Reflection Spectrum Sensor Interrogator Translation Stage

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