Представлено здесь пошаговый протокол для реализации газовых мембран (GEM) от SiO2/Si пластин с использованием технологии микрофабрикации интегральных схем. Когда кремнезем-ГЭМ погружаются в воду, вторжение воды предотвращается, несмотря на водолюбинный состав кремнезема.