Journal
/
/
Доказательство концепции для газо-захватирующих Мембраны, полученные из водолюбия SiO2/Si/SiO2 для зеленого опреснения
JoVE Journal
Engineering
This content is Free Access.
JoVE Journal Engineering
Proof-of-Concept for Gas-Entrapping Membranes Derived from Water-Loving SiO2/Si/SiO2 Wafers for Green Desalination
DOI:

09:39 min

March 01, 2020

, , , , , ,

Chapters

  • 00:05Introduction
  • 01:04Wafer Cleaning, Hexamethyldisilane (HMDS) Deposition, and Lithography
  • 03:28Sputter, Photoresist Lift-off and Processing, Manual back Alignment, and Lithography on the Backside of the Wafer
  • 04:46Etching and Final Cleaning
  • 07:41Results: Immersing Silica-GEMs in Water
  • 09:02Conclusion

Summary

Automatic Translation

Представлено здесь пошаговый протокол для реализации газовых мембран (GEM) от SiO2/Si пластин с использованием технологии микрофабрикации интегральных схем. Когда кремнезем-ГЭМ погружаются в воду, вторжение воды предотвращается, несмотря на водолюбинный состав кремнезема.

Related Videos

Read Article