JoVE Journal
Engineering
Engineering
JoVE 비디오를 활용하시려면 도서관을 통한 기관 구독이 필요합니다. 전체 비디오를 보시려면 로그인하거나 무료 트라이얼을 시작하세요.
챕터
요약
Please note that all translations are automatically generated.
Vi visar tillverkning av nanohöjd kanaler med integration av ytan akustisk våg aktiveringsanordningar på litium niobat för akustisk nanofluidik via liftoff fotolitografi, nano-djup reaktiv jonetsning, och rumstemperatur plasma ytaktiverad flerskiktsbindning av enkristalllitiumniobat, en process som är lika användbar för bindning av litiumniobat till oxider.